Новини от индустрията

SIC керамиката е керамичен материал, произведен от реакцията на силициеви (SI) и въглеродни (С) елементи, включваща изключително висока твърдост, топлинна устойчивост и химическа стабилност

В света на високите залози на производството на полупроводници, прецизността и стабилността са всичко-и това е мястото, където електростатичният патрон (ESC) стъпва. Много повече от просто инструмент за задържане, ESC използва електростатични сили, за да стигне сигурно офеи по време на критични процеси като ецване, отлагане и имплантиране на йони. Но как всъщност работи? Защо е по -добър от традиционното механично затягане? И каква роля играе за постигането на точността на наноразмер и ефективността на пропускателната способност? Добре дошли да прочетете.

Принципът на DeChuck на електростатичния патрон е ключова част от работния му поток, който включва елиминиране на електростатичната сила и механизмите за освобождаване на вафли.