Уеб меню

Търсене на продукти

език

Продукти

Покритие от танталов карбид

VeTek semiconductor е водещ производител на материали за покритие от танталов карбид за полупроводниковата индустрия. Нашите основни продуктови предложения включват части с покритие от танталов карбид CVD, части с покритие от синтерован TaC за растеж на кристали SiC или процес на епитаксия на полупроводници. Преминал ISO9001, VeTek Semiconductor има добър контрол върху качеството. VeTek Semiconductor е посветен да стане новатор в индустрията за покритие от танталов карбид чрез непрекъснати изследвания и развитие на итеративни технологии.


Основните продукти саВодещ пръстен с TaC покритие, Водещ пръстен с три венчелистчета с CVD TaC покритие, Полумесец с покритие от танталов карбид TaC, CVD TaC покритие планетарен SiC епитаксиален фиксатор, Пръстен с покритие от танталов карбид, Порест графит с покритие от танталов карбид, TaC Coating Rotation Susceptor, Пръстен от танталов карбид, Въртяща се плоча с покритие TaC, ТаС покритие за вафлен приемник, Дефлекторен пръстен с TaC покритие, CVD TaC покритие, Патронник с покритие TaCи т.н., чистотата е под 5ppm, може да отговори на изискванията на клиента.


Графитът с TaC покритие се създава чрез покриване на повърхността на графитен субстрат с висока чистота с фин слой танталов карбид чрез собствен процес на химическо отлагане на пари (CVD). Предимството е показано на снимката по-долу:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покритието от танталов карбид (TaC) привлече вниманието поради високата си точка на топене до 3880°C, отлична механична якост, твърдост и устойчивост на термични удари, което го прави привлекателна алтернатива на процесите на комбинирана полупроводникова епитаксия с по-високи температурни изисквания, като Aixtron MOCVD система и LPE SiC епитаксиален процес. Също така има широко приложение в PVT метод SiC процес на растеж на кристали.


Ключови характеристики:

 ●Температурна стабилност

 ●Ултра висока чистота

 ●Устойчивост на H2, NH3, SiH4,Si

 ●Устойчивост на топлинен запас

 ●Силна адхезия към графит

 ●Конформно покритие на покритието

 ● Размер до 750 mm диаметър (единственият производител в Китай достига този размер)


Приложения:

 ●Вафлен носител

 ● Индуктивен топлинен приемник

 ● Резистивен нагревателен елемент

 ●Сателитен диск

 ●Душ слушалка

 ●Водещ пръстен

 ●LED Epi приемник

 ●Инжекционна дюза

 ●Маскиращ пръстен

 ● Топлинен щит


Покритие от танталов карбид (TaC) върху микроскопично напречно сечение:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметър на VeTek Semiconductor танталов карбид покритие:

Физични свойства на TaC покритието
Плътност 14,3 (g/cm³)
Специфична излъчвателна способност 0.3
Коефициент на термично разширение 6.3 10-6/К
Твърдост (HK) 2000 HK
Съпротива 1×10-5Ом*см
Термична стабилност <2500 ℃
Размерът на графита се променя -10~-20um
Дебелина на покритието ≥20um типична стойност (35um±10um)


TaC покритие EDX данни：

EDX data of TaC coating


Данни за кристалната структура на покритието TaC:

елемент Атомен процент
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Средно
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC покрит пръстен за PVT растеж на SIC единичен кристал

TAC покрит пръстен за PVT растеж на SIC единичен кристал

Като един от водещите доставчици на продукти за покритие на TAC в Китай, полупроводник Vetek е в състояние да предостави на клиентите висококачествени персонализирани части за покритие на TAC. Пръстенът с покритие от TAC за растеж на PVT на SIC единичен кристал е един от най -забележителните и зрели продукти на Vetek Semiconductor. Той играе важна роля в растежа на PVT на процеса на SIC Crystal и може да помогне на клиентите да растат висококачествени SIC кристали. Очакваме с нетърпение вашето запитване.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
СТР

СТР

Vetek Semiconductor преживя много години технологично развитие и е овладял водещата технология на процеса на CVD TAC покритие. Тритонален пръстен на CVD TAC с TAC е един от най-зрелите продукти за CVD TAC на Vetek Semiconductor и е важен компонент за приготвяне на SIC кристали чрез PVT метод. С помощта на полупроводник Vetek вярвам, че вашето производство на кристали SIC ще бъде по -гладко и по -ефективно.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Tantalum карбиден покрив

Tantalum карбиден покрив

Полупроводниковият карбиден пръстен на Vetek Tantalum е незаменим компонент в полупроводниковата индустрия, по -специално в ецването на SIC вафли. Неговата комбинация от графитна основа и TAC покритие осигурява превъзходни характеристики във високотемпературна и химически агресивна среда. Със своята засилена топлинна стабилност, устойчивост на корозия и механична якост, пръстенът с карбид Tantalum помага на производителите на полупроводници да постигнат прецизност, надеждност и висококачествени резултати в производствените им процеси.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
TaC пръстен с покритие

TaC пръстен с покритие

TAC покривният пръстен е високоефективен компонент, предназначен за използване в полупроводникови процеси, полупроводниковият пръстен на Vetek Semiconductor има висока термична стабилност, устойчивост на химическа корозия и отлична механична якост и се използва специално за задържане и поддържане на SIC WAFS по време на процеса на ецване, където прецизният контрол и издръжливостта са от съществено значение за постигане на висококачествени вафли. Очакваме с нетърпение вашата допълнителна консултация.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
TAC покритие на тигела

TAC покритие на тигела

Като професионален доставчик и производител на Clucible Coftible в Китай, TAC Cofible Cofible на Vetek Semiconductor играе незаменяема роля в процеса на растеж на единичен кристал на полупроводници с отличната си топлопроводимост, изключителна химическа стабилност и засилена устойчивост на корозия. Добре дошли вашите допълнителни запитвания.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Tantalum карбидно покритие с ориентиран пръстен

Tantalum карбидно покритие с ориентиран пръстен

Като водещ доставчик и производител на направляващ пръстен с TaC покритие в Китай, водещият пръстен с покритие от танталов карбид VeTek Semiconductor е важен компонент, използван за насочване и оптимизиране на потока от реактивни газове при метода PVT (Physical Vapor Transport). Той насърчава равномерното отлагане на монокристали SiC в зоната на растеж чрез регулиране на разпределението и скоростта на газовия поток. VeTek Semiconductor е водещ производител и доставчик на направляващи пръстени с TaC покритие в Китай и дори в света и очакваме вашата консултация.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Като професионалист Покритие от танталов карбид производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Покритие от танталов карбид, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
Препоръки за новини
Какво е пореста графит? - Полупроводник Vetek
Какво е пореста графит? - Полупроводник VetekВиж повече >>
Каква е разликата между CVD TAC и Snerited TAC?
Каква е разликата между CVD TAC и Snerited TAC?Виж повече >>
Материал на епитаксията на силициев карбид
Материал на епитаксията на силициев карбидВиж повече >>
Прилагане на графитни части, покрити с ТАК, в единични кристални пещи
Прилагане на графитни части, покрити с ТАК, в единични кристални пещиВиж повече >>
ALD рецепта за отлагане на атомен слой
ALD рецепта за отлагане на атомен слойВиж повече >>
Какво представлява процесът на полупроводникова епитаксия?
Какво представлява процесът на полупроводникова епитаксия?Виж повече >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept