Високопротивно гребло с висока чистота

Конзолната гребла с висока чистота SIC е ключов компонент, използван в оборудването за полупроводниково обработка. Продуктът е изработен от материал от силициев карбид с висока чистота (SIC).  Клиентите могат свободно да избират Sintered SIC материал или прекристалиран SIC материал. С помощта на своите отлични характеристики на висока чистота, висока термична стабилност и устойчивост на корозия, той се използва широко в процеси като пренос на вафли, поддръжка и обработка на високотемпературна обработка, осигурявайки надеждна гаранция за осигуряване на точността на процеса и качеството на продукта.

Продължителното гребло с висока чистота SIC играе следните специфични роли в процеса на обработка на полупроводници:

Трансфер на вафли: Високото гребло на SIC Contilever обикновено се използва като устройство за пренос на вафли във високотемпературна дифузия или окислителни пещи. Високата му твърдост го прави устойчив на износване и не е лесен за деформация по време на дългосрочна употреба и може да гарантира, че вафлата остава точно позиционирана по време на процеса на трансфер. В комбинация с високата си температура и устойчивост на корозия, той може безопасно да прехвърля вафли във и извън пещната тръба във високотемпературна среда, без да причини замърсяване или увреждане на вафлите.

Поддръжка на вафли: SIC материалът има нисък коефициент на термично разширение, което означава, че размерът му се променя по -малко, когато температурата се променя, което спомага за поддържане на прецизен контрол в процеса. При отлагане на химически пари (CVD) или физическо отлагане на пари (PVD) процесите, SIC конзолната гребла се използва за поддържане и фиксиране на вафлата, за да се гарантира, че вафлата остава стабилна и плоска по време на процеса на отлагане, като по този начин подобрява еднаквостта и качеството на филма.

Прилагане на високотемпературни процеси: SIC конзолната гребла има отлична термична стабилност и може да издържи температурите до 1600 ° C. Следователно този продукт се използва широко при отгряване на висока температура, окисляване, дифузия и други процеси.

Основни физически свойства на греблото с висока чистота SIC:

Високопротивно гребло с висока чистотамагазини:

Преглед на индустриалната верига на епитаксията на полупроводниковите чипове: