Уеб меню

Търсене на продукти

език

Продукти

Силициево-карбидна керамика

VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и услуги за инженеринг на приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.


ДИФУЗИЯ & LPCVD ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:

• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти


КОМПОНЕНТИ НА ПРОЦЕСА НА ЕЧВОРВАНЕ

Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:

Фокусни пръстени

Дюзи

Щитове

Душове

Прозорци / капаци

Други персонализирани компоненти


КОМПОНЕНТИ ЗА БЪРЗА ТЕРМИЧНА ОБРАБОТКА И ЕПИТАКСИАЛЕН ПРОЦЕС

VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисление и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.

• Дифузори

• Изолатори

• Токоприемници

• Други термокомпоненти по поръчка


Физични свойства на рекристализирания силициев карбид
Собственост Типична стойност
Работна температура (°C) 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)
Съдържание на SiC / SiC > 99,96%
Si / Без съдържание на Si < 0,1%
Обемна плътност 2,60-2,70 g/cm3
Видима порьозност < 16%
Сила на натиск > 600 MPa
Якост на студено огъване 80-90 MPa (20°C)
Якост на горещо огъване 90-100 MPa (1400°C)
Термично разширение @1500°C 4,70 10-6/°С
Топлопроводимост @1200°C 23  W/m•K
Модул на еластичност 240 GPa
Устойчивост на термичен удар Изключително добре


View as  
 
Силициев карбид робот ръка

Силициев карбид робот ръка

Нашата роботизирана ръка на силициев карбид (SIC) е предназначена за високоефективна обработка на вафли при напреднало производство на полупроводници. Изработена от силициев карбид с висока чистота, тази роботизирана ръка предлага изключителна устойчивост на високи температури, плазмена корозия и химическа атака, като гарантира надеждна работа в взискателна среда за чисти помещения. Неговата изключителна механична якост и стабилност на размерите позволяват прецизно обработка на вафли, като същевременно свежда до минимум рисковете за замърсяване, което го прави идеален избор за MOCVD, епитакси, йонна имплантация и други критични приложения за обработка на вафли. Приветстваме вашите запитвания.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Силициев карбид sic вафла лодка

Силициев карбид sic вафла лодка

Veteksemicon SIC вафли лодки се използват широко в критични високотемпературни процеси в производството на полупроводници, като служат като надеждни носители за процеси на окисляване, дифузия и отгряване на интегрални вериги на базата на силиций. Те също се отличават в полупроводниковия сектор от трето поколение, идеално подходящ за взискателни процеси като епитаксиален растеж (EPI) и метало-органично химическо отлагане на пари (MOCVD) за SIC и GAN захранващи устройства. Те също така поддържат високотемпературната производство на високоефективни слънчеви клетки във фотоволтаичната индустрия. Очакваме вашата допълнителна консултация.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
SIC конзолни гребла

SIC конзолни гребла

Veteksemicon SIC конзолни гребла са с високо чистота силициев карбид, предназначени за обработка на вафли в хоризонтални дифузионни пещи и епитаксиални реактори. С изключителна термична проводимост, устойчивост на корозия и механична якост тези гребла гарантират стабилност и чистота в взискателни полупроводникови среди. Предлага се в персонализирани размери и оптимизиран за дълъг експлоатационен живот.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Sic блок

Sic блок

SIC блокът на Veteksemicon е предназначен за смилане на високоефективно и изтъняване на силициеви и сапфирски вафли. С отлична топлопроводимост (≥120 W/m · K), висока устойчивост на термичен удар и превъзходна устойчивост на износване (MOHS ≥9), нашите блокове подобряват стабилността на процеса и намаляват честотата на промяната на инструмента. Предлага се в размери от 120 мм до 480 мм, с персонализирани опции и бърза доставка, за да отговори на различни производствени нужди.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Sic Ceramics Membrane

Sic Ceramics Membrane

Мембраните на Veteksemicon sic керамика са вид неорганична мембрана и принадлежат към твърди мембранни материали в технологията за разделяне на мембраната. SIC мембраните се изстрелват при температура над 2000 ℃. Повърхността на частиците е гладка и кръгла. В поддържащия слой и всеки слой няма затворени пори или канали. Те обикновено са съставени от три слоя с различни размери на порите.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Пореста SIC керамична плоча

Пореста SIC керамична плоча

Нашите порести SIC керамични плочи са порести керамични материали, изработени от силициев карбид като основен компонент и обработени от специални процеси. Те са незаменими материали при производството на полупроводници, отлагане на химически пари (CVD) и други процеси.
Виж повече >> Изпратете запитване >>
Като професионалист Силициево-карбидна керамика производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Силициево-карбидна керамика, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
Препоръки за новини
С какви предизвикателства се сблъсква процесът на нанасяне на CVD TaC покритие за растеж на монокристал SiC при обработката на полупроводници?
С какви предизвикателства се сблъсква процесът на нанасяне на CVD TaC покритие за растеж на монокристал SiC при обработката на полупроводници?Виж повече >>
Какво е PECVD графитна лодка?
Какво е PECVD графитна лодка?Виж повече >>
Прилагане на графитни части, покрити с ТАК, в единични кристални пещи
Прилагане на графитни части, покрити с ТАК, в единични кристални пещиВиж повече >>
Какво е горещо пресована SIC керамика?
Какво е горещо пресована SIC керамика?Виж повече >>
Защо SIC Coating получава толкова много внимание? - Полупроводник Vetek
Защо SIC Coating получава толкова много внимание? - Полупроводник VetekВиж повече >>
Пълно обяснение на процеса на производство на чипове (2/2): от вафла до опаковане и тестване
Пълно обяснение на процеса на производство на чипове (2/2): от вафла до опаковане и тестванеВиж повече >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept