QR код
 
                    За нас
Продукти
Свържете се с нас
 - Телефон
 - факс- +86-579-87223657 
 - Електронна поща
 - Адрес- Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай 
 
            VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и услуги за инженеринг на приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.
		
	
VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:
• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти
		
	
		  SiC конзолна гребло
 SiC конзолна гребло    SiC технологични тръби
 SiC технологични тръби    Процесорна тръба от силициев карбид
 Процесорна тръба от силициев карбид    SiC вертикална вафлена лодка
 SiC вертикална вафлена лодка    SiC хоризонтална вафлена лодка
 SiC хоризонтална вафлена лодка    SiC хоризонтална квадратна вафлена лодка
 SiC хоризонтална квадратна вафлена лодка    SiC LPCVD пластинчата лодка
 SiC LPCVD пластинчата лодка    SiC хоризонтална плоча
 SiC хоризонтална плоча    SiC керамичен уплътнителен пръстен
 SiC керамичен уплътнителен пръстен  
	
		
	
Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:
Фокусни пръстени
Дюзи
Щитове
Душове
Прозорци / капаци
Други персонализирани компоненти
				 
 
			
		
	
VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисление и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.
• Дифузори
• Изолатори
• Токоприемници
• Други термокомпоненти по поръчка
				 
 
			
		
	
| Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
| Собственост | Типична стойност | 
| Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) | 
| Съдържание на SiC / SiC | > 99,96% | 
| Si / Без съдържание на Si | < 0,1% | 
| Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 | 
| Видима порьозност | < 16% | 
| Сила на натиск | > 600 MPa | 
| Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) | 
| Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) | 
| Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°С | 
| Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K | 
| Модул на еластичност | 240 GPa | 
| Устойчивост на термичен удар | Изключително добре | 
		
	






 
                    

+86-579-87223657


Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай
Авторско право © 2024 VeTek Semiconductor Technology Co., Ltd. Всички права запазени.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |
