Продукти

Силициево-карбидна керамика

VeTek Semiconductor е вашият иновативен партньор в областта на обработката на полупроводници. С нашето обширно портфолио от комбинации от материали от силициев карбид керамика от полупроводников клас, възможности за производство на компоненти и услуги за инженеринг на приложения, ние можем да ви помогнем да преодолеете значителни предизвикателства. Инженерно-техническа керамика от силициев карбид се прилага широко в полупроводниковата индустрия поради изключителните си характеристики на материала. Свръхчистата керамика от силициев карбид на VeTek Semiconductor се използва често през целия цикъл на производство и обработка на полупроводници.


ДИФУЗИЯ & LPCVD ОБРАБОТКА

VeTek Semiconductor предоставя инженерни керамични компоненти, специално проектирани за партидна дифузия и изисквания за LPCVD, включително:

• Прегради и държачи
• Инжектори
• Облицовки и технологични тръби
• Конзолни гребла от силициев карбид
• Вафлени лодки и постаменти


КОМПОНЕНТИ НА ПРОЦЕСА НА ЕЧВОРВАНЕ

Минимизирайте замърсяването и непланираната поддръжка с компоненти с висока чистота, проектирани за суровата обработка с плазмено ецване, включително:

Фокусни пръстени

Дюзи

Щитове

Душове

Прозорци / капаци

Други персонализирани компоненти


КОМПОНЕНТИ ЗА БЪРЗА ТЕРМИЧНА ОБРАБОТКА И ЕПИТАКСИАЛЕН ПРОЦЕС

VeTek Semiconductor предоставя усъвършенствани материални компоненти, пригодени за приложения при високотемпературна термична обработка в полупроводниковата индустрия. Тези приложения включват RTP, Epi процеси, дифузия, окисление и отгряване. Нашата техническа керамика е проектирана да издържа на термични удари, осигурявайки надеждна и постоянна работа. С компонентите на VeTek Semiconductor, производителите на полупроводници могат да постигнат ефективна и висококачествена термична обработка, допринасяйки за цялостния успех на производството на полупроводници.

• Дифузори

• Изолатори

• Токоприемници

• Други термокомпоненти по поръчка


Физични свойства на рекристализирания силициев карбид
Собственост Типична стойност
Работна температура (°C) 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)
Съдържание на SiC / SiC > 99,96%
Si / Без съдържание на Si < 0,1%
Обемна плътност 2,60-2,70 g/cm3
Видима порьозност < 16%
Сила на натиск > 600 MPa
Якост на студено огъване 80-90 MPa (20°C)
Якост на горещо огъване 90-100 MPa (1400°C)
Термично разширение @1500°C 4,70 10-6/°С
Топлопроводимост @1200°C 23  W/m•K
Модул на еластичност 240 GPa
Устойчивост на термичен удар Изключително добре


View as  
 
Силиконов пиедестал

Силиконов пиедестал

Vetek Semiconductor Silicon Pedestal е ключов компонент в процесите на дифузия и окисляване на полупроводници. Като специална платформа за носене на силиконови лодки във високотемпературни пещи, силиконовият пиедестал има много уникални предимства, включително подобрена равномерност на температурата, оптимизирано качество на вафли и подобрена работа на полупроводниковите устройства. За повече информация за продукта, моля не се колебайте да се свържете с нас.
SIC керамичен уплътнителен пръстен

SIC керамичен уплътнителен пръстен

Като мащабна фабрика и доставчик на продукти от керамичен печат на SIC в Китай, полупроводникът на Vetek Sic Ceramic Seal има широк спектър от приложения в индустриалното поле поради отличната си топлопроводимост, изключителна химическа и корозионна устойчивост и висока якост и твърдост. Добре дошли вашите допълнителни запитвания.
Sic дифузионна пещ тръба

Sic дифузионна пещ тръба

Като водещ производител и доставчик на оборудване за дифузионно пещ в Китай, полупроводник на полупроводник дифузионна пещ на Vetek има значително висока якост на огъване, отлична устойчивост на окисляване, устойчивост на корозия, висока устойчивост на износване и отлични механични свойства с висока температура. Което го прави незаменим материал за оборудване в приложения за дифузионна пещ. Vetek Semiconductor се ангажира да произвежда и доставя висококачествена тръба за дифузионна пещ SIC и приветства вашите допълнителни запитвания.
Носач за вафли от SiC с висока чистота

Носач за вафли от SiC с висока чистота

Vetek Semiconductor предлага персонализиран носач на лодка с висока чистота. Изработен от силиконов карбид с висока чистота, той разполага с слотове за задържане на вафлата на място, като не позволява да се плъзга по време на обработката. CVD SIC покритие също се предлага, ако е необходимо. Като професионален и силен производител и доставчик на полупроводници, високо чистота на Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier е ценова конкурентен и високо качество. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да бъде ваш дългосрочен партньор в Китай.
Високопротивно гребло с висока чистота

Високопротивно гребло с висока чистота

Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на продукт с висока чистота SIC Contilever Paddle Product в Китай. Греблата с висока чистота SIC Contilever обикновено се използват в пещи за полупроводникови дифузионни пещи като платформи за пренос на вафли или зареждане.
Вертикална колона с лодка и пиедестал

Вертикална колона с лодка и пиедестал

Вертикалната колона с лодки и пиедестал на Vetek Semiconductor е изработена от кварц с висока чистота или силициеви въглеродни керамични (SIC), с отлична висока температурна устойчивост, химическа стабилност и механична якост и е незаменим основен компонент в процеса на производство на полупроводници. Добре дошли вашата допълнителна консултация.
Като професионалист Силициево-карбидна керамика производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Силициево-карбидна керамика, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept