SIC конзолни гребла

Ⅰ. Преглед на използването на продукти

SIC конзолните гребла се използват главно в оборудване за производство на полупроводници като компоненти за поддръжка и пренос. Основната му функция е стабилно и точно да обработва силиконови вафли при екстремни условия на процеса, като висока температура и висока корозия, осигурявайки гладък и ефективен производствен процес.

Ⅱ.

SIC е усъвършенстван керамичен материал, чиито отлични физически свойства му дават несравнимо предимство в полето за полупроводници. По -долу са ключовите физически параметри, свързани с греблата на конзолата на SIC:

● Висока чистота: Използването на SIC материал с висока чистота може да сведе до минимум замърсяването на процеса и да подобри добива на продукта.

● Отлично устойчивост на висока температура: SIC има точка на топене до 2830 ° C, което му позволява да поддържа структурна цялост в екстремни температурни среди като плазмено офорт и високотемпературно отгряване, а дългосрочната работна температура може да достигне повече от 1000 ° C.

● Висока твърдост и устойчивост на износване: Твърдостта на MOHS е 9-9,5, втори само за диамант, което дава на SIC конзолни гребла отлична устойчивост на износване и поддържане на стабилността на размерите по време на високочестотно предаване на вафли.

● Отлична топлопроводимост: Топлинната проводимост на SIC керамиката е до 120-250 w/(m · k) (типична стойност), която може бързо да разсее топлината и да избегне локалното прегряване, което може да повреди вафлата.

● Нисък коефициент на термично разширяване: Ниският коефициент на термично разширение (около 4.0 × 10⁻⁶ /k) осигурява стабилност на размерите, когато температурата се променя, избягва напрежението, причинено от термично разширяване и свиване, и по този начин намалява риска от увреждане на вафли.

Ⅲ. Сценарии на приложение на гребла на конзолата на SIC

Уникалните свойства на греблата на конзолата на SIC им позволяват да играят ключова роля в множество връзки на полупроводниково производство:

● Плазмено офортно оборудване: В плазмената камера за офорт, греблата на конзолата на SIC служат като опори за вафли, които могат да издържат на плазмената бомбардировка и корозивната газова ерозия, като същевременно поддържат стабилността на размерите, като гарантират точността на офорт и разширяването на живота на оборудването.

● Оборудване за отлагане на тънък филм (CVD/PVD): В процеса на отлагане на химически пари (CVD) и физическо отлагане на пари (PVD), SIC конзолни гребла се използват за поддържане на вафли. Тяхната отлична устойчивост на висока температура и термична проводимост помагат да се загреят равномерно вафлите и да се предотврати замърсяването на частиците, генерирано по време на процеса на отлагане на тънките филми.

● Система за прехвърляне на вафли: В автоматизираната система за прехвърляне на вафли, греблата на конзолата на SIC могат да издържат на високочестотно механично движение поради високата си твърдост и устойчивост на износване, като гарантират точно и бързо прехвърляне на вафли между различни процесорни камери, намалявайки риска от увреждане на вафли и замърсяване.

● Процес на отгряване с висока температура: В пещта за отгряване с висока температура греблата на конзолата на SIC могат да издържат на ултра-високи температурни среди, да осигурят стабилна поддръжка за вафли и да гарантират равномерността и ефективността на процеса на отгряване.

Veteksemicon е добре запознат с строгите изисквания на полупроводниковите процеси за качество на продукта. Следователно, ние поддържаме персонализирани услуги и можем да предоставим персонализиран дизайн и производство на гребла SIC Contilever според вашето специфично оборудване и изисквания за процес. И ние също ще контролираме строг контрол на качеството, за да гарантираме, че всеки продукт претърпява строги проверки на качеството, за да гарантираме, че той отговаря на най -високите стандарти в индустрията.

По -важното е, че техническият екип на Vetek Semiconductor ще ви предостави изчерпателни технически консултации и решения за продукти. Изборът на нашето SIC конзолно гребло означава избор на по -висока ефективност на производството, по -дълъг живот на оборудването и по -добър добив на продукта. Очакваме вашата допълнителна консултация.