VeTek Semiconductor предоставя специален графит като силиконизиран графит, пиролитичен въглерод, порест графит, покритие от стъклен въглерод, графитен лист с висока чистота и изостатичен графит с висока чистота са няколко вида специални графитни материали, които споделят общи характеристики и приложения. Ето кратко въведение в техните функции и приложения:
● Силиконизиран графит: Силиконизираният графит е специален графитен материал, образуван чрез комбиниране на графит със силициеви съединения. Той показва отлична устойчивост на висока температура, устойчивост на корозия и механични свойства. Силиконизираният графит обикновено се използва във високотемпературни пещи, устойчиво на корозия оборудване и производство на полупроводници.
● Пиролитичен въглерод: Пиролитичният въглерод е въглероден материал, получен чрез високотемпературна пиролиза на органични вещества като въглища и петролен кокс. Той се отличава с висока чистота, плътност, здравина и ниска електропроводимост. Пиролитичният въглерод намира широко приложение като високотемпературни материали и структурни компоненти в полупроводниците, химическото оборудване, космическото пространство и други области.
● Порест графит: Порестият графит е специален графитен материал с микро и мезопорести структури. Притежава голяма специфична повърхност и порьозност, предлагайки отлични свойства на адсорбция и топлопроводимост. Порестият графит обикновено се използва при разделяне на газове, растеж на кристали SiC и други приложения.
● Покритие от стъклен въглерод: Покритието от стъклен въглерод се отнася до техниката на нанасяне на стъклен въглероден материал като повърхностно покритие. Той показва изключителна устойчивост на корозия, устойчивост на износване и електрическа проводимост. Покритията от стъкловъглерод често се използват в устойчиви на корозия покрития, материал за покритие за E-Beam Gun и други области на полупроводниците.
● Изостатичен графит с висока чистота: Изостатичен графит с висока чистота е специален графитен материал с висока чистота, получен чрез процес на изостатично пресоване при висока температура. Отличава се с еднаква микроструктура, висока плътност и ниско съдържание на кислород. Изостатичният графит с висока чистота се използва широко в прецизната обработка, материалите за разсейване на топлината, производството на полупроводници, фотоволтаиците, аерокосмическата и други индустрии.
Графитната хартия с висока чистота е специализиран материал, използван в производството на полупроводници. Със своята изключителна термична и електрическа проводимост, той играе жизненоважна роля в приложения като радиатори, материали за термичен интерфейс и електрическа изолация. Леката и гъвкава природа на графитната хартия с висока чистота я прави идеална за подобряване на управлението на топлината и оптимизиране на производителността на полупроводникови устройства. Високата му чистота (примеси под 5ppm) осигурява надеждна и ефективна работа, което го прави ценен компонент в производството и сглобяването на полупроводници.
Тези специални графитни материали предлагат уникални свойства и предимства на приложението в съответните области. Те играят критична роля във високотемпературни среди, устойчивост на корозия, електроника, енергетика, химическо инженерство, аерокосмическа и полупроводникова промишленост, осигурявайки съществена подкрепа за напредъка и иновациите в тези сектори.
Ключови характеристики
● Опции със свръхвисока чистота с нива на примеси под 5 ppm за критични полупроводникови процеси.
● Отлична високотемпературна стабилност и устойчивост на термичен шок, подходящи за PVT SiC кристален растеж и вакуумни пещи.
● Разнообразни форми на материала: изостатичен графит, порест графит, силиконизиран графит, PyC покритие, стъкловъглеродно покритие и гъвкави графитни листове.
● Превъзходна устойчивост на корозия, устойчивост на износване и контролирана порьозност за управление на газа и приложения в термично поле.
● Възможност за вътрешна обработка и покритие (SiC / TaC / PyC), позволяваща персонализирани решения на едно гише.
● Съвместим с основните полупроводникови и платформи за оборудване за растеж на кристали.
Спецификации на продукта
| Параметър на покритие от пиролитичен въглерод (PyC). |
| Елемент |
единица |
стойност |
| Кристална структура |
-
|
Шестоъгълна |
| Подравняване |
-
|
Ориентирани или неориентирани по посока 001 |
| Обемна плътност |
g/cm³ |
~2,24 |
| Микроструктура |
-
|
Поликристален/многослоен графен |
| твърдост |
GPa |
1.1
|
| Модул на еластичност |
GPa |
10
|
| Типична дебелина |
μm |
30-100 |
| Грапавост на повърхността |
μm |
1.5
|
| Чистота на продукта |
ppm |
≤5ppm |
Приложения
За да отговори на разнообразните нужди на полупроводникови и високотемпературни процеси, VeTek предлага целеви специални графитни продукти. Следващата таблица ги класифицира по основни области на приложение, изброявайки типични материали/компоненти и приложими процеси:
| Поле за приложение |
Типични материали / продукти |
Описание на приложението |
| SiC кристален растеж (PVT) |
Порест графит, Графитен пръстен с PyC покритие, изостатичен графитен тигел, направляващ пръстен
|
Използва се в PVT SiC кристални термични полета за растеж; осигурява контролиран транспорт на парите, висока чистота и термична стабилност до >2200°C, намалявайки замърсяването с частици. |
| Полупроводникова епитаксия / MOCVD |
нагреватели, PyC / части с покритие от стъклен въглерод
|
Компоненти на термично поле с висока чистота за Si/SiC/GaN епитаксия и MOCVD системи; отлична температурна равномерност и химическа инертност. |
| Високотемпературни пещи и вакуум |
Графитни нагреватели, Графитен тигел с три венчелистчета
|
Устойчиви на корозия и термично стабилни материали за вакуумни пещи, нагреватели с горещи зони и оборудване за високотемпературна обработка. |
| Топлинно управление |
Графитен филц с висока чистота, Графитна хартия
|
Гъвкави листове с висока термична/електропроводимост за радиатори, термични интерфейсни материали и електрическа изолация в полупроводникови устройства (примеси <5 ppm). |
| Защита от корозия/износване |
Стъклокарбоново покритие, силиконизиран графит |
Повърхностни покрития и насипни материали, предлагащи изключителна устойчивост на корозия, устойчивост на износване и електрическа проводимост за пистолети с електронни лъчи и тежки среди. |
| Разделяне и адсорбция на газове |
Порест графит
|
Микро/мезопореста структура с голяма специфична повърхност за отделяне на газове, филтриране и приложения в контролирана атмосфера. |
За по-подробни решения за съвпадение на продукти и процеси, моля, вижте съответните страници на подкатегории:Порест графит, Изотропен графит, Пиролитично въглеродно покритиеи т.н.
Като професионален производител и доставчик на специален графит в Китай, ние разполагаме със собствена фабрика. Независимо дали имате нужда от персонализирани услуги, за да посрещнете специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите усъвършенстван и издръжлив специален графит, произведен в Китай, можетеоставете ни съобщение.
