Продукти
Графитни тигли от три части
  • Графитни тигли от три частиГрафитни тигли от три части
  • Графитни тигли от три частиГрафитни тигли от три части

Графитни тигли от три части

За взискателни приложения за растеж на полупроводникови кристали, графитният тигел от три части VETEK осигурява стабилността, чистотата и топлинната равномерност, които процесът изисква. Изработен от висококачествен изостатичен графит — с опционални покрития от SiC, TaC или PyC — неговият разделен дизайн не е само за удобство. Той активно намалява топлинния стрес, прави поддръжката по-бърза и продължава да работи цикъл след цикъл.

Ключови характеристики
· Изостатичен графит с висока чистота със съдържание на пепел ≤5 ppm след пречистване.

· Модулен дизайн от три части минимизира топлинния стрес и удължава експлоатационния живот.

· Отлична топлопроводимост за стабилно разпределение на температурата.

· Изключителна устойчивост на термичен удар при многократно нагряване и охлаждане.

· Съвместим с опционални CVD SiC, TaC и PyC покрития.

· Прецизната CNC обработка гарантира строги толеранси на размерите.

· Персонализирани размери и структури, налични според чертежите на клиента.


Спецификации

Физични свойства на изостатичния графит
Собственост
единица
Типична стойност
Обемна плътност
g/cm³
1.83
твърдост
HSD
58
Електрическо съпротивление
μΩ.m
10
Якост на огъване
MPa
47
Якост на натиск
MPa
103
Якост на опън
MPa
31
Модулът на Йънг
GPa
11.8
Термично разширение (CTE)
10-6K-1
4.6
Топлопроводимост
W·m-1·K-1
130
Среден размер на зърното
μm
8-10
Порьозност
%
10
Съдържание на пепел
ppm
≤5 (след пречистване)

Приложения
· PVT SiC кристален растеж

· Полупроводникови системи с термично поле

· Пещи за растеж на кристали

· Високотемпературни вакуумни пещи

· Растеж на сложни полупроводникови кристали

· Полупроводниково R&D оборудване


Защо да работите с VETEK?

· Цялостно вътрешно производство от пречистване на графит до нанасяне на покритие.

· Усъвършенствана CNC обработка и контрол на качеството на полупроводници.

· Допълнителни технологии за покритие SiC, TaC и PyC.

· Изработка по поръчка по чертежи или модели на оборудване.

· Стабилни глобални доставки и надеждна техническа поддръжка.


Горещи маркери: Графитни тигели от три части, Графитен тигел с три венчелистчета, Тигел с полупроводников графит, Тигел за растеж на кристали SiC, Графитен тигел с PVT, Графитен тигел с висока чистота, Изостатичен графитен тигел, Термично поле за растеж на кристали, VETEK
Изпратете запитване
Информация за контакт
  • Адрес

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай

  • Електронна поща

    anny@veteksemi.com

За запитвания относно покритие от силициев карбид, покритие от танталов карбид, специален графит или ценова листа, моля, оставете своя имейл до нас и ние ще се свържем в рамките на 24 часа.
X
Ние използваме бисквитки, за да ви предложим по-добро сърфиране, да анализираме трафика на сайта и да персонализираме съдържанието. Използвайки този сайт, вие се съгласявате с използването на бисквитки от наша страна.Политика за поверителност
ОтхвърлянеПриеми