Окислителните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, електронни устройства за захранване, слънчеви клетки и мащабно интегрирано производство на вериги. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на вафли.
Vetek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в пещи за окисляване и дифузия. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти на пещта за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия и сме начело на технологията на повърхностното покритие, като CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбон и т.н.
Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:
● Високотемпературна съпротивление (до 1600 ℃)
● Отлична топлопроводимост и термична стабилност
● Добра химическа устойчивост на корозия
● Нисък коефициент на термично разширение
● Висока якост и твърдост
● Дълъг експлоатационен живот
В пещите с окисляване и дифузия, поради наличието на висока температура и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициев карбид (SIC) е често използван избор. По -долу са често срещани компоненти на силициев карбид, открити в пещи за окисляване и дифузионни пещи:
● лодка с вафли
Силиконовата карбидна вафрова лодка е контейнер, използван за пренасяне на силициеви вафли, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силиконови вафли.
● Пещ тръба
Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използван за настаняване на силиконови вафли и контрол на реакционната среда. Тръбите за пещ на силициев карбид имат отлична характеристика и устойчивост на корозия.
● Плоча на прегради
Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта
● Защита на термодвойката
Използва се за защита на температурата, измерване на термодвойките от директен контакт с корозивни газове.
● Конзолно гребло
Силиконовите карбидни конзолни гребла са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, пренасящи силиконови вафли в тръбите на дифузионни пещи.
● газов инжектор
Използва се за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да бъде устойчив на висока температура и корозия.
● превозвач на лодка
Носителят на лодките на силициевите карбиди се използва за фиксиране и поддържане на силиконови вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.
● Вратата на пещта
От вътрешната страна на вратата на пещта може да се използват и силициев карбид покрития или компоненти.
● Отоплителен елемент
Елементите за отопление на силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.
● SIC лайнер
Използва се за защита на вътрешната стена на пещните тръби, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и издържа на сурови среди като висока температура и високо налягане.
