Окисляване и дифузионна пещ

Окислителните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, електронни устройства за захранване, слънчеви клетки и мащабно интегрирано производство на вериги. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на вафли.

Vetek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в пещи за окисляване и дифузия. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти на пещта за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия и сме начело на технологията на повърхностното покритие, като CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбон и т.н.

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

● Високотемпературна съпротивление (до 1600 ℃)

● Отлична топлопроводимост и термична стабилност

● Добра химическа устойчивост на корозия

● Нисък коефициент на термично разширение

● Висока якост и твърдост

● Дълъг експлоатационен живот

В пещите с окисляване и дифузия, поради наличието на висока температура и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициев карбид (SIC) е често използван избор. По -долу са често срещани компоненти на силициев карбид, открити в пещи за окисляване и дифузионни пещи:

● лодка с вафли

Силиконовата карбидна вафрова лодка е контейнер, използван за пренасяне на силициеви вафли, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силиконови вафли.

● Пещ тръба

Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използван за настаняване на силиконови вафли и контрол на реакционната среда. Тръбите за пещ на силициев карбид имат отлична характеристика и устойчивост на корозия.

● Плоча на прегради

Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта

● Защита на термодвойката

Използва се за защита на температурата, измерване на термодвойките от директен контакт с корозивни газове.

● Конзолно гребло

Силиконовите карбидни конзолни гребла са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, пренасящи силиконови вафли в тръбите на дифузионни пещи.

● газов инжектор

Използва се за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да бъде устойчив на висока температура и корозия.

● превозвач на лодка

Носителят на лодките на силициевите карбиди се използва за фиксиране и поддържане на силиконови вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.

● Вратата на пещта

От вътрешната страна на вратата на пещта може да се използват и силициев карбид покрития или компоненти.

● Отоплителен елемент

Елементите за отопление на силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.

● SIC лайнер

Използва се за защита на вътрешната стена на пещните тръби, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и издържа на сурови среди като висока температура и високо налягане.

View as

Силициев карбид робот ръка

Нашата роботизирана ръка на силициев карбид (SIC) е предназначена за високоефективна обработка на вафли при напреднало производство на полупроводници. Изработена от силициев карбид с висока чистота, тази роботизирана ръка предлага изключителна устойчивост на високи температури, плазмена корозия и химическа атака, като гарантира надеждна работа в взискателна среда за чисти помещения. Неговата изключителна механична якост и стабилност на размерите позволяват прецизно обработка на вафли, като същевременно свежда до минимум рисковете за замърсяване, което го прави идеален избор за MOCVD, епитакси, йонна имплантация и други критични приложения за обработка на вафли. Приветстваме вашите запитвания.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Силициев карбид sic вафла лодка

Veteksemicon SIC вафли лодки се използват широко в критични високотемпературни процеси в производството на полупроводници, като служат като надеждни носители за процеси на окисляване, дифузия и отгряване на интегрални вериги на базата на силиций. Те също се отличават в полупроводниковия сектор от трето поколение, идеално подходящ за взискателни процеси като епитаксиален растеж (EPI) и метало-органично химическо отлагане на пари (MOCVD) за SIC и GAN захранващи устройства. Те също така поддържат високотемпературната производство на високоефективни слънчеви клетки във фотоволтаичната индустрия. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

SIC конзолни гребла

Veteksemicon SIC конзолни гребла са с високо чистота силициев карбид, предназначени за обработка на вафли в хоризонтални дифузионни пещи и епитаксиални реактори. С изключителна термична проводимост, устойчивост на корозия и механична якост тези гребла гарантират стабилност и чистота в взискателни полупроводникови среди. Предлага се в персонализирани размери и оптимизиран за дълъг експлоатационен живот.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Sic Ceramics Membrane

Мембраните на Veteksemicon sic керамика са вид неорганична мембрана и принадлежат към твърди мембранни материали в технологията за разделяне на мембраната. SIC мембраните се изстрелват при температура над 2000 ℃. Повърхността на частиците е гладка и кръгла. В поддържащия слой и всеки слой няма затворени пори или канали. Те обикновено са съставени от три слоя с различни размери на порите.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Пореста SIC керамична плоча

Нашите порести SIC керамични плочи са порести керамични материали, изработени от силициев карбид като основен компонент и обработени от специални процеси. Те са незаменими материали при производството на полупроводници, отлагане на химически пари (CVD) и други процеси.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

SIC керамика вафлена лодка

Vetek Semiconductor е водещ доставчик на лодки, производител и фабрика на SIC Ceramics, производител и фабрика в Китай. Нашата лодка за вафли SIC Ceramics е жизненоважен компонент в модерните процеси за обработка на вафли, като се грижи за фотоволтаичната, електрониката и полупроводниковата индустрия. Очакваме вашата консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Като професионалист Окисляване и дифузионна пещ производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Окисляване и дифузионна пещ, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Окисляване и дифузионна пещ

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

Силициев карбид робот ръка

Силициев карбид sic вафла лодка

SIC конзолни гребла

Sic Ceramics Membrane

Пореста SIC керамична плоча

SIC керамика вафлена лодка

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес