Окисляване и дифузионна пещ

Окислителните и дифузионните пещи се използват в различни области като полупроводникови устройства, дискретни устройства, оптоелектронни устройства, електронни устройства за захранване, слънчеви клетки и мащабно интегрирано производство на вериги. Те се използват за процеси, включително дифузия, окисляване, отгряване, легиране и синтероване на вафли.

Vetek Semiconductor е водещ производител, специализиран в производството на графит с висока чистота, силициев карбид и кварцови компоненти в пещи за окисляване и дифузия. Ние се ангажираме да предоставяме висококачествени компоненти на пещта за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия и сме начело на технологията на повърхностното покритие, като CVD-SIC, CVD-TAC, пирокарбон и т.н.

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

● Високотемпературна съпротивление (до 1600 ℃)

● Отлична топлопроводимост и термична стабилност

● Добра химическа устойчивост на корозия

● Нисък коефициент на термично разширение

● Висока якост и твърдост

● Дълъг експлоатационен живот

В пещите с окисляване и дифузия, поради наличието на висока температура и корозивни газове, много компоненти изискват използването на високотемпературни и устойчиви на корозия материали, сред които силициев карбид (SIC) е често използван избор. По -долу са често срещани компоненти на силициев карбид, открити в пещи за окисляване и дифузионни пещи:

● лодка с вафли

Силиконовата карбидна вафрова лодка е контейнер, използван за пренасяне на силициеви вафли, които могат да издържат на високи температури и няма да реагират със силиконови вафли.

● Пещ тръба

Тръбата на пещта е основният компонент на дифузионната пещ, използван за настаняване на силиконови вафли и контрол на реакционната среда. Тръбите за пещ на силициев карбид имат отлична характеристика и устойчивост на корозия.

● Плоча на прегради

Използва се за регулиране на въздушния поток и разпределението на температурата вътре в пещта

● Защита на термодвойката

Използва се за защита на температурата, измерване на термодвойките от директен контакт с корозивни газове.

● Конзолно гребло

Силиконовите карбидни конзолни гребла са устойчиви на висока температура и корозия и се използват за транспортиране на силициеви лодки или кварцови лодки, пренасящи силиконови вафли в тръбите на дифузионни пещи.

● газов инжектор

Използва се за въвеждане на реакционен газ в пещта, той трябва да бъде устойчив на висока температура и корозия.

● превозвач на лодка

Носителят на лодките на силициевите карбиди се използва за фиксиране и поддържане на силиконови вафли, които имат предимства като висока якост, устойчивост на корозия и добра структурна стабилност.

● Вратата на пещта

От вътрешната страна на вратата на пещта може да се използват и силициев карбид покрития или компоненти.

● Отоплителен елемент

Елементите за отопление на силициев карбид са подходящи за високи температури, висока мощност и могат бързо да повишат температурите до над 1000 ℃.

● SIC лайнер

Използва се за защита на вътрешната стена на пещните тръби, може да помогне за намаляване на загубата на топлинна енергия и издържа на сурови среди като висока температура и високо налягане.

View as

Sic дифузионна пещ тръба

Като водещ производител и доставчик на оборудване за дифузионно пещ в Китай, полупроводник на полупроводник дифузионна пещ на Vetek има значително висока якост на огъване, отлична устойчивост на окисляване, устойчивост на корозия, висока устойчивост на износване и отлични механични свойства с висока температура. Което го прави незаменим материал за оборудване в приложения за дифузионна пещ. Vetek Semiconductor се ангажира да произвежда и доставя висококачествена тръба за дифузионна пещ SIC и приветства вашите допълнителни запитвания.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Носач за вафли от SiC с висока чистота

Vetek Semiconductor предлага персонализиран носач на лодка с висока чистота. Изработен от силиконов карбид с висока чистота, той разполага с слотове за задържане на вафлата на място, като не позволява да се плъзга по време на обработката. CVD SIC покритие също се предлага, ако е необходимо. Като професионален и силен производител и доставчик на полупроводници, високо чистота на Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier е ценова конкурентен и високо качество. Vetek Semiconductor очаква с нетърпение да бъде ваш дългосрочен партньор в Китай.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Високопротивно гребло с висока чистота

Vetek Semiconductor е водещ производител и доставчик на продукт с висока чистота SIC Contilever Paddle Product в Китай. Греблата с висока чистота SIC Contilever обикновено се използват в пещи за полупроводникови дифузионни пещи като платформи за пренос на вафли или зареждане.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Вертикална колона с лодка и пиедестал

Вертикалната колона с лодки и пиедестал на Vetek Semiconductor е изработена от кварц с висока чистота или силициеви въглеродни керамични (SIC), с отлична висока температурна устойчивост, химическа стабилност и механична якост и е незаменим основен компонент в процеса на производство на полупроводници. Добре дошли вашата допълнителна консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Съседна лодка с вафли

Vetek Semiconductor Contightuous Wafer Boat е усъвършенствано оборудване за обработка на полупроводници. Структурата на продукта е внимателно проектирана, за да осигури ефективна обработка и производство на прецизни вафли. Veteksemi поддържа персонализирани продуктови решения и очаква с нетърпение вашата консултация.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Хоризонтален носител на вафли SIC

Vetek Semiconductor е професионален производител и доставчик на ръководен пръстен с покритие TAC, хоризонтален носител на вафли SIC и SUC -SEC SOVEPTORS в Китай. Ние се ангажираме да предоставим перфектна техническа поддръжка и крайни решения за продукти за полупроводниковата индустрия. Добре дошли да се свържете с нас.

Виж повече >> Изпратете запитване >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Като професионалист Окисляване и дифузионна пещ производител и доставчик в Китай, ние имаме собствена фабрика. Независимо дали се нуждаете от персонализирани услуги, за да отговорите на специфичните нужди на вашия регион или искате да закупите модерни и издръжливи Окисляване и дифузионна пещ, направени в Китай, можете да ни оставите съобщение.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-18069220752
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто

Окисляване и дифузионна пещ

Предимствата на компонентите на силициевия карбид Vetek:

Sic дифузионна пещ тръба

Носач за вафли от SiC с висока чистота

Високопротивно гребло с висока чистота

Вертикална колона с лодка и пиедестал

Съседна лодка с вафли

Хоризонтален носител на вафли SIC

Изпратете запитване

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон

факс

Електронна поща

Адрес