Носач за вафли от SiC с висока чистота

Veteksemi с висока чистота SIC вафла с лодки е важен компонент на лагера, използван в пещите за отгряване, дифузионни пещи и друго оборудване в процеса на производство на полупроводници. Носителят на лодката с висока чистота SIC вафли обикновено е изработен от материал с високо чистота силициев карбид и главно включва следните части:

• Опорно тяло за лодка: структура, подобна на скоба, специално използвана за носенесилициеви пластиниили други полупроводникови материали.

• Подпорна конструкция: Конструкцията на носещата структура му позволява да понася големи натоварвания при високи температури и няма да се деформира или повреди по време на обработка с висока температура.

Материал на силициев карбид

Физически свойства наПрекристализиран силициев карбид：

Ако изискванията за производствен процес са по -високи,CVD SIC покритиеможе да се извърши върху носача за вафли от SiC с висока чистота, за да достигне чистотата повече от 99,99995%, като допълнително подобрява неговата устойчивост на висока температура.

Основни физични свойства на CVD SiC покритие:

По време на обработка с висока температура, носителят на лодката с висока чистота SIC вафли дава възможност на силиконовата вафла да се нагрява равномерно, за да се избегне местното прегряване. В допълнение, високата температурна устойчивост на силициевия карбид позволява да поддържа структурна стабилност при температури от 1200 ° C или дори по -висока.

По време на процеса на дифузия или отгряване, конзолната лопатка и носачът за вафли от SiC с висока чистота работят заедно. TheКонзолна греблабавно избутва носача на лодка за пластини SiC с висока чистота, носещ силиконовата пластина в камерата на пещта и я спира на определено място за обработка. 

Носителят на лодката с висока чистота SIC вафли поддържа контакт със силиконовата вафла и е фиксиран в определено положение по време на процеса на обработка на топлината, докато конзолната гребла помага да се запази цялата структура в правилното положение, като същевременно гарантира равномерност на температурата.

Носачът за вафли от SiC с висока чистота и конзолното гребло работят заедно, за да осигурят точността и стабилността на високотемпературния процес.

Vetek Semiconductor ви осигурява персонализиран носител на лодки с висока чистота с висока чистота според вашите нужди. Очакваме с нетърпение вашето запитване.

VeTek SemiconductorМагазини за превозвачи с висока чистота на Sic вафли: