Какво представлява Tantalum Carbide Tac покритие? - Veteksemicon

Какво е карбид Tantalum (TAC)?

Керамичният материал Tantalum Carbide (TAC) има точка на топене до 3880 ℃ и е съединение с висока точка на топене и добра химическа стабилност. Той може да поддържа стабилна производителност в високотемпературни среди. В допълнение, той има и висока температурна устойчивост, химическа корозия устойчивост и добра химическа и механична съвместимост с въглеродни материали, което го прави идеален графитен субстрат защитен материал за покритие. 

Tantalum карбидно покритиеможе ефективно да защити графитните компоненти от ефектите на горещ амоняк, водород, силиконова пара и разтопен метал в сурови условия за използване, като значително удължава експлоатационния живот на графитните компоненти и потиска миграцията на примесите в графита, като гарантира качеството наЕпитаксиалнаиКристален растеж.

Фигура 1. Общи компоненти с покритие от карбид Tantalum

Подготовка на TAC покритие чрез CVD процес

Химическото отлагане на пари (CVD) е най -зрелият и оптимален метод за производство на TAC покрития върху графитни повърхности.

Използвайки TACL5 и пропилен като източници на въглерод и танталум, и аргон като носещ газ, в реакционната камера се въвежда високотемпературната изпарена TACL5 пара. При целевата температура и налягане, изпареният материал на предшественика се адсорбира на повърхността на графита, претърпявайки серия от сложни химични реакции като разлагане и комбинация от източници на въглерод и танталум, както и серия от повърхностни реакции като дифузия и десорбция на странични продукти на прекурсора. И накрая, на повърхността на графита се образува плътен защитен слой, който предпазва графита от стабилно съществуване при екстремни условия на околната среда и значително разширява сценариите на приложение на графитни материали.

Фигура 2.Принцип на процеса на химическо отлагане на пари (CVD)

За повече информация относно принципите и процеса на подготовка на CVD TAC покритие, моля, вижте статията:Как да приготвите CVD TAC покритие?

Защо да изберете Veteksemicon?

СемиконОсновно предоставя продукти на карбид Tantalum: TAC пътеводител, TAC покрит три венчелистчета, пръстен,TAC покритие на тигела, TAC покритието порести графит се използва широко е процес на растеж на кристалите SIC; Пореста графит с так покритие, насочен пръстен с покритие от так,TAC покритие с графитен вафлен носител, SOSPECTORS на TAC,Планетарен светецИ тези продукти за покритие на карбид Tantalum се използват широкоПроцес на епитаксия на SICиSIC процес на растеж на единичен кристал.

Фигура 3.ВетеринарНай -популярните продукти на Tantalum Carbide на Ek Semiconductor