TAC покритие на тигела

Сделки за полупроводнициCVD TAC покрити тичалкиОбикновено играйте следните ключови роли в процеса на растеж на единичен кристал на PVT SIC:

Методът на PVT се отнася до поставянето на кристал на семена от SIC върху тигела, покрит с ТАК, и поставянето на SIC прах като суровина в долната част на тигела. В затворена среда с висока температура и ниско налягане, SIC прахът сублимира и под действието на температурния градиент и разлика в концентрацията, TheSic прахсе прехвърля в околността на семената кристал и достига свръхнасистено състояние след прекристализация. Следователно методът на PVT може да постигне контролируем растеж на размера на кристала SIC и специфичната кристална форма.

● Термична стабилност на растежа на кристалите

Полупроводниковите походи на Vetek Semiconductor имат отлична термична стабилност (може да остане стабилна под 2200 ℃), което спомага за поддържането на тяхната структурна цялост дори при изключително високите температури, необходими за растеж на единични кристали. Това физическо свойство дава възможност на графита с покритие от SIC да контролира прецизно процеса на растеж на кристалите, което води до силно еднакви и без дефекти кристали.

● Отлична химическа бариера

Тихопластоти с так, покрити с покритие от танталум с графит с висока чистота, за да осигурят отлична устойчивост на широк спектър от корозивни химикали и разтопени материали, които обикновено се срещат по време на растежа на единични кристали на SIC. Това свойство е от решаващо значение за постигането на висококачествени кристали с минимални дефекти.

● Затихване на вибрации за стабилна среда за растеж

Отличните затихващи свойства на тикала с так, покрит с тикене, свеждат до минимум вибрациите и топлинния шок в графитния тигел, като допълнително допринасят за стабилна и контролирана среда за растеж на кристали. Чрез смекчаване на тези потенциални източници на смущения, TAC покритието дава възможност за растеж на по -големи, по -равномерни кристали с намалена плътност на дефектите, в крайна сметка увеличават добивите на устройството и подобряване на работата на устройството.

● Отлична топлопроводимост

Покритите тигели на Veteksemicon имат отлична топлопроводимост, което помага на графитния тигел да прехвърля топлина бързо и равномерно. Това определя прецизния контрол на температурата по време на процеса на растеж на кристалите, като свежда до минимум дефектите на кристалите, причинени от топлинни градиенти.

Tantalum карбид (TAC) покритие върху микроскопично напречно сечение

Физически свойства наTantalum карбидно покритие

Vetek полупроводникови магазини