CVD TAC покритие

Творското въртене на TAC играе ключова роля в процесите на отлагане с висока температура като CVD и MBE и е важен компонент за обработката на вафли при производството на полупроводници. Сред тях,TAC покритиеИма отлична висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия и химическа стабилност, което осигурява висока точност и високо качество по време на обработката на вафли.

CVD TAC покритие Clucible обикновено се състои от TAC покритие иГрафитсубстрат. Сред тях TAC е керамичен материал с висока топене на топене с точка на топене до 3880 ° C. Той има изключително висока твърдост (твърдост на викерите до 2000 г.), химическа устойчивост на корозия и силна устойчивост на окисляване. Следователно, TAC покритието е отличен устойчив на висока температура материал в технологията за обработка на полупроводници.

Графитният субстрат има добра топлопроводимост (топлинната проводимост е около 21 W/M · K) и отлична механична стабилност. Тази характеристика определя, че графитът се превръща в идеално покритиесубстрат.

CVD TAC Coating Crucible се използва главно в следните технологии за обработка на полупроводници:

Производство на вафли: Полупроводниково покритие Vetek Semiconductor CVD Clucible има отлична висока температурна устойчивост (точка на топене до 3880 ° C) и устойчивост на корозия, така че често се използва в процеси за производство на ключови вафли, като отлагане на пари от високо температура (CVD) и епитаксиален растеж. В комбинация с отличната структурна стабилност на продукта в ултра-високи температурни среди, той гарантира, че оборудването може да работи стабилно за дълго време при изключително тежки условия, като по този начин ефективно подобрява ефективността на производството и качеството на вафлите.

Епитаксиален процес на растеж: В епитаксиални процеси катоХимическо отлагане на пари (CVD)и епитаксията на молекулярния лъч (MBE), CVD TAC Coating Crucible играе ключова роля за носенето. Неговото TAC покритие може не само да поддържа високата чистота на материала при екстремна температура и корозивна атмосфера, но и ефективно да предотврати замърсяването на реагентите върху материала и корозията на реактора, като гарантира точността на производствения процес и консистенцията на продукта.

Тъй като водещият китайски производител и лидер на CVD TAC Coating Clucible, Vetek Semiconductor може да предостави персонализирани продукти и технически услуги според вашите изисквания за оборудване и процес. Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Tantalum карбид (TAC) покритие върху микроскопично напречно сечение：

Физични свойства на TAC покритие：

Полупроводник CVD TAC покритие от тигеристи: