Какви материали се използват в полупроводникови керамични компоненти?

Алуминиева керамика (al₂o₃) ‌

Алуминиевата керамика е "работният кон" за производството на керамични компоненти. Те проявяват отлични механични свойства, ултра високи точки на топене и твърдост, устойчивост на корозия, силна химическа стабилност, високо съпротивление и превъзходна електрическа изолация. Те обикновено се използват за производство на полиращи плочи, вакуумни патрони, керамични оръжия и подобни части.

‌Алуминиева нитридна керамика (ALN)

Алуминиевата нитридна керамика се отличава с висока топлинна проводимост, коефициент на термично разширение, съответстващ на този на силиций, и ниска диелектрична константа и загуба. С предимства като висока точка на топене, твърдост, топлинна проводимост и изолация, те се използват предимно в топлинно разсейване на субстрати, керамични дюзи и електростатични патрони.

‌Yttria керамика (y₂o₃)

Yttria Ceramics се гордее с висока точка на топене, отлична химическа и фотохимична стабилност, ниска фононова енергия, висока топлопроводимост и добра прозрачност. В полупроводниковата индустрия те често се комбинират с алуминиева керамика - например, Yttria покрития се прилагат върху алуминиевата керамика за производство на керамични прозорци.

‌Silicon нитридна керамика (Si₃n₄) ‌

Силиконовата нитридна керамика се характеризира с висока точка на топене, изключителна твърдост, химическа стабилност, нисък коефициент на термично разширение, висока топлопроводимост и силна устойчивост на термичен удар. Те поддържат изключителна устойчивост на въздействие и здравина под 1200 ° C, което ги прави идеални за керамични субстрати, куки за носене на товари, позициониране на щифтове и керамични тръби.

‌Silicon карбидна керамика (SIC) ‌

Силиконова карбидна керамика, наподобяващи диаманти в имоти, са леки, ултра твърди и високоякостни материали. С изключителна цялостна производителност, устойчивост на износване и устойчивост на корозия, те се използват широко в клапанските седалки, плъзгащи се лагери, горелки, дюзи и топлообменници.

‌Zirconia керамика (zro₂) ‌

Цирконийната керамика предлага висока механична якост, топлинна устойчивост, киселина/алкална устойчивост и отлична изолация. Въз основа на съдържанието на циркония те са категоризирани в:

• Precision Ceramics‌ (съдържание над 99,9%, използвано за субстрати от интегрална верига и високочестотни изолационни материали).
• Обикновена керамика‌ (за керамични продукти с общо предназначение).

Структурни характеристики наПолупроводникова керамика Компоненти

‌Dense керамика‌

Плътната керамика се използва широко в полупроводниковата индустрия. Те постигат уплътняване, като свеждат до минимум порите и се приготвят чрез методи като реакционно синтероване, синтероване на налягане, синтероване с течно-фаза, горещо пресоване и горещо изостатично натискане.

‌Порираща керамика

За разлика от плътната керамика, порестата керамика съдържа контролиран обем от празнини. Те се класифицират по размера на порите в микропореста, мезопореста и макропореста керамика. С ниска насипна плътност, лека структура, голяма специфична повърхност, ефективна филтрация/термична изолация/акустични свойства на амортизация и стабилни химически/физически характеристики, те се използват за производство на различни компоненти в полупроводниково оборудване.