Порести sic керамични патрони

Порестите керамични патрони SIC, предлагани от Veteksemicon, са направени от пореста силициев карбид с висока чистота (SIC), този керамичен патрон осигурява равномерен поток на газ, отлична плоскост и термична стабилност при високи вакуумни и температурни условия. Той е идеален за вакуумни системи за затягане, където безконтактните, безконтролни борави с вафли са от решаващо значение.

Ⅰ. Основни свойства на материала и ползи от производителността

1. Отлична топлинна проводимост и температурна устойчивост

Силиконов карбид предлага висока топлопроводимост (120–200 W/m · K) и може да издържи работни температури над 1600 ° C, което прави патронника идеален за плазмени ецване, обработка на йонни лъчи и процеси на отлагане с висока температура.

Роля: Осигурява равномерно разсейване на топлина, намаляване на изкривяването на вафли и подобряване на равномерността на процеса.

2. Превъзходна механична якост и устойчивост на износване

Плътната микроструктура на SIC придава на Chuck изключителна твърдост (> 2000 HV) и механична издръжливост, от съществено значение за повторни цикли на натоварване/разтоварване на вафли и сурови процеси.

Роля: Удължава живота на Чък, като същевременно поддържа стабилност на размерите и повърхностна прецизност.

3. контролирана порьозност за равномерно вакуумно разпределение

Фино настроената пореста структура на керамиката позволява постоянно вакуумно засмукване през повърхността на вафлите, като се гарантира сигурно поставяне на вафли с минимално замърсяване на частиците.

Роля: Подобрява съвместимостта на чистата стая и гарантира обработката на вафли без щети.

4. Отлична химическа устойчивост

Инертността на SIC към корозивни газове и плазмени среди предпазва патронника от разграждане по време на реактивно ецване на йони или химическо почистване.

Роля: минимизира времето за престой и честотата на почистване, намалявайки оперативните разходи.

Ⅱ. Услугите за персонализиране и поддръжка на Veteksemicon

Във Veteksemicon ние предоставяме пълен спектър от съобразени услуги, за да отговорим на взискателните изисквания на производителите на полупроводници:

● Персонализирана геометрия и дизайн на размера на порите: Ние предлагаме патронници в различни размери, дебелина и плътност на порите, персонализирани според вашите спецификации на вашето оборудване и вакуумни изисквания.

● Бързо прототипиране на оборотите: Кратко време за изпълнение и ниска производствена поддръжка на MOQ за научноизследователска и развойна дейност и пилотни линии.

● Надеждна услуга след продажбата: От насоки за инсталиране до мониторинг на жизнения цикъл, ние гарантираме дългосрочна стабилност на производителността и техническата поддръжка.

Ⅲ. Приложения

● Оборудване за офорт и плазмена обработка

● Йонни имплантации и отгряване на камери

● Системи за химическо механично полиране (CMP)

● Метрологични и проверки платформи

● Вакуумни системи за задържане и затягане в чисти помещения

Магазин за продукти на Vekekemeicon: