Краен ефектор за обработка на вафли

Крайният ефектор за обработка на вафли е вид ръчна ръка, проектирана специално за полупроводниковата индустрия, обикновено използвана за обработка и прехвърляневафли. Производствената среда на вафли изисква изключително висока чистота, тъй като мъничките частици или замърсители могат да доведат до неуспех на чиповете по време на обработката. 

Керамичните материали се използват широко при производството на тези ръце поради техните отлични физически и химични свойства.

Чистота и състав

Чистотата на алуминиевата система обикновено е ≥99,9%, а металните примеси (като MGO, CAO, SIO₂) се контролират в рамките на 0,05% до 0,8%, за да се подобри устойчивостта на плазменото ецване.

α-фазовата алуминиев оксид (структура на корунд) е основният, типът на кристала е стабилен, плътността е 3,98 g/cm³, а действителната плътност след синтероване е 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Механично свойство

Твърдост: HOHS Hardness 9 ~ 9.5, Vickers Hardness 1800 ~ 2100 HV, по -висока от неръждаемата стомана и сплав.

Сила на огъване: 300 ~ 400 MPa, което може да издържи на механичния стрес от високоскоростно управление на вафла.

Еластичен модул: 380 ~ 400 GPA, за да се гарантира, че рамото за обработка е твърда и не е лесна за деформация.

Топлинни и електрически свойства

Топлинна проводимост: 20 ~ 30 w/(m · k), все още поддържат стабилна изолация (съпротивление> 10⁴ Ω · cm).

Температурно съпротивление: Температурата на дългосрочната употреба може да достигне 850 ~ 1300 ℃, подходяща за вакуумна среда с висока температура.

Повърхностна характеристика

Грубост на повърхността: RA≤ 0,2 μm (след полиране), за да се избегнат драскотини за вафли

Вакуумна адсорбция порьозност: Куха структура, постигната чрез изостатично належащо, порьозност <0,5%.

Второ, функции на структурен дизайн

Лека и здравина оптимизация

Използвайки интегриран процес на формоване, теглото е само 1/3 от металната рама, намалявайки грешката на позициониране, причинена от инерцията.

Крайният ефект е проектиран като амортисьор за захващане или вакуум, а контактната повърхност е покрита с антистатично покритие, за да се предотврати замърсяването на вафла 710 чрез електростатична адсорбция.

Устойчивост на замърсяване

Алуминиевата алуминия с висока чистота е химически инертна, не отделя метални йони и отговаря на стандарта за чистота на полу F47 (замърсяване на частиците <10 ppm).

Трето, изисквания за производствен процес

Формиране и синтероване

Изостатично натискане (налягане 200 ~ 300 MPa), за да се гарантира плътността на материала> 99,5%.

Високотемпературно синтероване (1600 ~ 1800 ℃), контрол на размера на зърното в 1 ~ 5 μm до балансиране на здравината и здравината.

Прецизна обработка

Диамантена обработка на смилане, точност на размерите ± 0,01 мм, плоскост ≤ 0,05 мм/м/м

Семикон магазини за продукти: