Какво е PECVD графитна лодка?

Ⅰ. Какъв е материалът на PECVD Graphite Boat?

Основният материал наPECVD Графитна лодка(Графитна лодка за отлагане на плазмено усилено химическо изпаряване) е изработена с висока чистотаизотропен графитен материал(Чистотата обикновено е ≥99,999%) и се променя от специални процеси (като химическо отлагане на пари CVD или повърхностно покритие). Графитът с висока чист се използва широко в PECVD системите поради отличната си електрическа проводимост и висока топлопроводимост (80 ~ 150 W/m · K). ТоваГрафитен материал с висока чистможе да поддържа добра структурна стабилност и химическа стабилност в високотемпературни среди и може да устои на корозия от реактивни газове и плазма.

Ⅱ. Какви са физическите свойства на графитната лодка?

Физическите свойства на PECVD графитни лодки включват:

● Електрическа проводимост: Изостатичният графит има отлична електрическа проводимост, което му позволява ефективно да управлява електрическата енергия и да насърчава генерирането и поддържането на плазмата по време на процеса на PECVD.

●  Топлинна проводимост: Високата топлопроводимост на графита (около 80 ~ 150 w/m · k) помага за поддържане на стабилна температурна среда по време на процеса на PECVD и осигуряване на равномерно отлагане на тънки филми.

●  Плътност: Плътността на търговския поликристален графит варира от 1,30 g/cm³ до 1,88 g/cm³. Колкото по -висока е плътността, толкова по -добри са физическите и механичните свойства, които могат да подобрят експлоатационния живот на продукта.

Ⅲ. Какви са предимствата на PECVD графитната лодка в сравнение с обикновената графитна лодка?

В сравнение с обикновените графитни лодки, PECVD графитните лодки имат следните предимства:

Ⅳ. Защо да изберете графитната лодка на PECVD на Veteksemicon?

Както всички знаем, Veteksemicon е водещ производител и доставчик на продукти за полупроводниково покритие иГрафитни продуктиВ Китай. НашитеPECVD графитни лодкисе използват главно в полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия, особено в процесите на PECVD и CVD.

Графитните лодки обикновено се използват като носители за пренасяне на силициеви вафли или други материали, за да се осигури безопасно управление и транспортиране на тези материали във висока температура и плазмена среда. Например, в процеса на производство на полупроводници, графитните лодки на PECVD на Veteksemicon са предназначени за плазмени подобрени процеси на отлагане на химически пари. Графитната лодка играе ролята на отлагане на силиконов нитрид (SINₓ) пасивационни слоеве и филми с ниска диелектрична константа (ниско-К).

Във фотоволтаичното поле PECVD графитните лодки се използват за приготвяне на слънчеви клетки на силиконова основа на силиций (като аморфни силициеви A-Si: H) и PERC клетъчни пасивационни слоеве. PECVD графитната лодка на Veteksemicon оптимизира процеса на покритие, като ефективно раздава силиконови вафли и предизвиква сияние, за да се постигне равномерно отлагане на покритието.

По -важното е, че Veteksemicon може да предостави персонализирани продукти и технически услуги и може да проектира и произвежда продукти на графитни лодки с различни спецификации според вашите действителни изисквания на процеса. Изборът на Veteksemicon означава избора на лидер в индустрията със силна сила в полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия. Искрено се радваме да станем ваш дългосрочен партньор.