Как да избера MOCVD графитен табла?

Въпрос 1: Каква е графитната тава на MOCVD и защо е толкова важна за епитаксиалния процес?

Метално-органично химическо отлагане на пари (MOCVD) Графитна плоча, известна още като графитен табла на MOCVD или Sousceptor на графит на MOCVD, е компонент с висока чистота, използван за фиксиране на полупроводникови вафли по време на епитаксиален растеж. В епитаксиалния процес той действа като нагревателен елемент и гарантира равномерно разпределение на температурата, което играе незаменима роля за депозиране на тънки филми в приложения като усъвършенствани полупроводникови устройства, LED производство и слънчеви клетки.

Графитната тава може да издържи на екстремни температури (до 1800 ° C) и корозивна газова среда, което го прави незаменим материал за високотемпературни, устойчиви на корозия MOCVD системи. Производителността му влияе пряко върху консистенцията на процеса и добива на вафли.

Въпрос 2: Кои свойства на материала трябва да бъдат приоритизирани при избора на MOCVD графитни тави?

Изборът на правилната графитна плоча изисква оценка на неговите физически и химични свойства:

● Висока чистота (над 99,999%):

Обикновено примесите като метали или пепел могат да замърсят епитаксиалния процес. Изборът на доставчик на графит с висока чистота като Veteksemicon осигурява минимални дефекти в епилаера на полупроводника.

●  Отлична термична стабилност:

По време на действителната обработка графитните плочи трябва да могат да издържат на определени топлинни удари и да поддържат структурна цялост при бързи температурни цикли. Veteksemicon Graphite с висока плътност осигурява равномерно разпределение на топлина, което е от решаващо значение за равномерния растеж на филма.

●  Отлична устойчивост на корозия:

В среда на MOCVD графитът обикновено е изложен на корозивни газове (например амоняк, водород). Високотемпературната корозия-устойчива на графитни плочи MOCVD с финозърнеста структура минимизира корозията и удължават живота на обслужването.

●  Механична якост на висока производителност:

В епитаксиалния процес графитните тави на MOCVD трябва да поддържат множество вафли, без да изкривяват. Според статистиката на Veteksemicon в действителната обработка, якостта на огъване на графитната плоча трябва да бъде ≥50 MPa, за да се предотврати напукване на тавата.

Q3: Как сценарият на приложението влияе на избора на графитни тави на MOCVD?

Различните MOCVD процеси изискват пригодени дизайни на графитни плочи:

●  Епитаксиален растеж на LED/Photonics:

Ултра-гладният MOCVD графитни плочи се използват в процеса на епитаксия за намаляване на генерирането на частици и осигуряване на слоеве без дефекти.

Например, Veteksemicon MOCVD графитни плочи (или Veteksemicon графитни плочи за MOCVD) са проектирани за GAN и GAAS Epitaxy и осигуряват оптимизирано управление на термика.

●  Производство на силово полупроводници:

В комбинация с експерименталната статистика на Semikera Semiconductor, плаките с подобрена устойчивост на окисляване обикновено се предпочитат за процесите на силициев карбид (SIC) или галий нитрид (GAN).

●  Производство с висока пропускателна способност:

Мулти-вафалните тави изискват прецизна обработка, за да се приведат в съответствие с дизайна на реактора. Персонализиращите се графитни тави на MOCVD от надежден полупроводник на Semikera Semikera може да съответства на конкретни конфигурации на инструменти.

Q4: Кои са ключовите съображения за намиране на надежден доставчик на графитни плочи на MOCVD?

●  Сертифициране и тестване:

Проверете дали доставчикът предоставя сертифициране на материали (например доклад за чистота, тест за плътност) и осигурява обработка след обработка на повърхността (например покритие за намаляване на порьозността). Като водещ китайски производител на покритие за полупроводници и епитаксиално оборудване, графитни плочи Veteksemicon MOCVD са сертифицирани от правителствените отдели за строги лимитни експерименти, а резултатите от тестовете за чистота и плътност на неговите продукти са далеч по -напред от неговите връстници.

●  Възможности за персонализиране:

Доставчиците на най-високото чистота на графита трябва да персонализират размера, модела на дупките и покритието, за да отговарят на изискванията на вашия реактор. Както Veteksemicon, така и Semikera Semiconductor имат възможностите за обслужване на персонализиране на свързани продукти и технологии и са напълно способни да отговарят на различните ви персонализирани нужди.

●  Живот и ефективност на разходите:

Въпреки че по -евтиният графит може да спести предварително, по -ниските графитни плочи ще доведат до чест подмяна и престой, като сериозно се отразяват на нормалната ефективност на производството. Изборът на графитни табели Veteksemicon и други качествени продукти ще даде възможност на вашия бизнес да постигне дългосрочно надеждно производство.

Q5: Как да удължим експлоатационния живот на графитни тави на MOCVD?

●  Предотвратяване на окисляването: Използвайте инертен газов прочистване по време на цикли на отопление/охлаждане.

●  Почиствайте редовно: Използвайте неабразивни методи (като сухо офорт), за да отстраните отложените остатъци.

●  Избягвайте механичния стрес: Работете внимателно с тавата по време на натоварване/разтоварване на вафли.

Най -добрият съвет на Veteksemicon за вас:

За MOCVD графитни плочи, които са устойчиви на корозия с висока температура, дайте приоритет на доставчиците с експертиза в полупроводникови материали.

Тестови проби при действителни условия на процеса за проверка на производителността.

Разгледайте напредналите покрития (като SIC покритие, TAC покритие), за да подобрите трайността и надеждността в екстремни среди.

За повече информация относно графитната плоча на SIC Coating MOCVD, щракнете тук.

За повече информация относно TAC покритието MOCVD графитна плоча, щракнете тук.