Кварцов газопровод

Кварцовите плочи за разпределение на газ, известни още като кварцови душове, са критични компоненти в производството на полупроводници. Използвайки изключителната чистота, високотемпературната устойчивост и устойчивостта на корозия на кварца, тези плочи осигуряват равномерен и стабилен поток от процесорни газове върху повърхността на вафлите. Тази прецизна доставка е от съществено значение за поддържане на качеството и еднаквостта на депозираните филми или оформени функции.

Основни характеристики на слети кварц с висока чистота

● материал: 99,99%слети с висока чистота кварц

● Високотемпературна съпротивление: Издържа на температури над 1000 ℃

● Корозионна устойчивост: Отлична издръжливост срещу процесорни газове и плазмени среди

● Прецизен поток на газ: Еднообразно разпределение на микро-дупките за оптимална доставка на газ и равномерност

● Персонализиран дизайн: Размер, модел на отвора и монтажни функции могат да бъдат пригодени за конкретни модели на оборудване

Основни роли в производството на полупроводници

1. Физическо отлагане на пари (PVD) и отлагане на химически пари (CVD)

Роля: В PVD и CVD процесите, плочата за разпределение на газа точно насочва реактивните газове (например силан, амоняк, кислород) или прекурсори върху вафлата, за да образува желания тънък филм.

Специфични употреби:

● Контрол на равномерността: Прецизно проектираните микро-дупки на плочата гарантират, че потокът и концентрацията на газ са равномерни по цялата повърхност на вафли. Това е жизненоважно за отлагане на филми с постоянна дебелина и производителност.

● Предотвратяване на замърсяване: Високата чистота на кварца предотвратява реагирането на плочата с процесорни газове или освобождаване на примеси. Това поддържа чистотата на филма и предотвратява дефекти на повърхността на вафлите.

2. Плазмено-усилено химическо отлагане на пари (PECVD)

Роля: В PECVD, кварцовият душ -глава не само доставя реактивни газове, но също така функционира като електрод за производство на плазма.

Специфични употреби:

● Плазмено запалване: Душът обикновено е свързан към радиочестотен (RF) източник на енергия за генериране на плазма. Високоенергийните частици в плазмата насърчават разлагането на газообразни реагенти, което позволява отлагането на филма при по-ниски температури.

● Термична стабилност: Кварцът показва отлична топлинна стабилност, което му позволява да издържа на високотемпературната плазмена среда. Това помага да се поддържа еднаква температура в рамките на процесорната камера, като допълнително се гарантира качеството и консистенцията на филма.

3. Сухо офорт

Роля: При сухо офорт, плочата за разпределение на газа въвежда реактивни ецващи газове (например флуоровъглевони, хлор) в камерата на офорт.

Специфични употреби:

● Ефорт на офорт: Плаката осигурява равномерен поток и концентрация на ецуващи газове, което гарантира постоянна дълбочина и профил на офорт в цялата вафла. Това е от решаващо значение за постигане на точните модели, необходими за усъвършенствани полупроводникови устройства.

● Корозионна устойчивост: Силните корозивни свойства на офортите газове изискват траен материал. Високата устойчивост на корозия на Quartz удължава живота на душа и намалява риска от прекъсвания на процеса.

4. Почистване на вафли

Роля: В специфични процеси на почистване на вафли се използва кварцов раздаване на газ за доставяне на почистващи газове (например озон, амоняк) равномерно към повърхността на вафлите, за да се отстранят остатъците или замърсителите.

Специфични употреби:

● Постоянно почистване: Плаката гарантира, че почистването на газовете достига всяка част от вафлата, което позволява задълбочен и равномерен процес на почистване.

● Химическа съвместимост: Съвместимостта на Quartz с широк спектър от почистващи химикали предотвратява реакциите и поддържа чистотата и ефективността на процеса на почистване.