Покритие от силициев карбид

VeTek Semiconductor е специализирана в производството на продукти с изключително чисто покритие от силициев карбид, тези покрития са предназначени за нанасяне върху пречистен графит, керамика и огнеупорни метални компоненти.

Нашите покрития с висока чистота са предназначени предимно за използване в полупроводниковата и електронната промишленост. Те служат като защитен слой за носители на пластини, фиксатори и нагревателни елементи, като ги предпазват от корозивни и реактивни среди, срещащи се в процеси като MOCVD и EPI. Тези процеси са неразделна част от обработката на пластини и производството на устройства. Освен това, нашите покрития са много подходящи за приложения във вакуумни пещи и нагряване на проби, където се срещат среди с висок вакуум, реактивни и кислородни среди.

Във VeTek Semiconductor ние предлагаме цялостно решение с нашите усъвършенствани възможности за машинен цех. Това ни позволява да произвеждаме базовите компоненти с помощта на графит, керамика или огнеупорни метали и да нанасяме вътрешни SiC или TaC керамични покрития. Ние също така предоставяме услуги за нанасяне на покрития на части, доставени от клиента, като гарантираме гъвкавост за посрещане на различни нужди.

Нашите продукти със силициево-карбидно покритие се използват широко в Si епитаксия, SiC епитаксия, MOCVD система, RTP/RTA процес, процес на ецване, процес на ецване ICP/PSS, процес на различни типове LED, включително сини и зелени LED, UV LED и дълбоки UV LED и т.н., който е адаптиран към оборудване от LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI и т.н.

Реакторни части, които можем да направим:

Покритието от силициев карбид има няколко уникални предимства:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Параметър на покритие от силициев карбид на VeTek Semiconductor

Основни физични свойства на CVD SiC покритие
Собственост	Типична стойност
Кристална структура	FCC β фаза поликристална, предимно (111) ориентирана
SiC покритие Плътност	3,21 g/cm³
SiC покритие Твърдост	2500 твърдост по Викерс（500g натоварване）
Размер на зърното	2~10 μm
Химическа чистота	99,99995%
Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
Температура на сублимация	2700 ℃
Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt огъване, 1300 ℃
Топлопроводимост	300W·m^-1·К^-1
Термично разширение (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Токоприемник Epi с покритие от силициев карбид Носител за пластини с покритие SiC Сателитно покритие с SiC покритие за MOCVD CVD SiC покритие Wafer Epi Susceptor Нагревателен елемент с CVD SiC покритие Aixtron Satellite носител на пластини SiC покритие Epi приемник SiC покритие полумесец графит части

MOCVD SiC покрит токоприемник

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor е прецизно проектирано носещо решение, специално разработено за епитаксиален растеж на LED и комбинирани полупроводници. Той демонстрира изключителна топлинна еднородност и химическа инертност в сложни MOCVD среди. Използвайки строгия процес на CVD отлагане на VETEK, ние се ангажираме да подобрим последователността на растежа на пластините и да удължим живота на основните компоненти, осигурявайки стабилна и надеждна гаранция за производителност за всяка партида от вашето производство на полупроводници.

Пръстен за фокусиране от силициев карбид

Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид (SiC) Veteksemicon е критичен консумативен компонент, използван в усъвършенствани процеси на епитаксия на полупроводници и плазмено ецване, където прецизният контрол на разпределението на плазмата, топлинната еднородност и ефектите на ръба на пластината са от съществено значение. Произведен от твърд силициев карбид с висока чистота, този фокусиращ пръстен показва изключителна устойчивост на плазмена ерозия, стабилност при висока температура и химическа инертност, което позволява надеждна работа при условия на агресивни процеси. Очакваме вашето запитване.

Епитаксиална реакторна камера с SiC покритие

Камерата за епитаксиален реактор с покритие от SiC на Veteksemicon е основен компонент, проектиран за взискателни процеси на епитаксиален растеж на полупроводници. Използвайки усъвършенствано химическо отлагане на пари (CVD), този продукт образува плътно SiC покритие с висока чистота върху високоякостен графитен субстрат, което води до превъзходна стабилност при висока температура и устойчивост на корозия. Той ефективно се противопоставя на корозивните ефекти на реактивните газове във високотемпературна среда на процеса, значително потиска замърсяването с частици, осигурява постоянно качество на епитаксиалния материал и висок добив и значително удължава цикъла на поддръжка и живота на реакционната камера. Това е ключов избор за подобряване на ефективността на производството и надеждността на широколентови полупроводници като SiC и GaN.

Части за EPI приемник

В основния процес на епитаксиален растеж на силициев карбид Veteksemicon разбира, че производителността на фиксатора директно определя качеството и производствената ефективност на епитаксиалния слой. Нашите EPI токоприемници с висока чистота, проектирани специално за областта на SiC, използват специален графитен субстрат и плътно CVD SiC покритие. Със своята превъзходна термична стабилност, отлична устойчивост на корозия и изключително ниска скорост на генериране на частици, те осигуряват несравнима дебелина и равномерност на допинга за клиентите дори при тежки процеси с висока температура. Изборът на Veteksemicon означава избор на крайъгълния камък на надеждността и производителността за вашите модерни процеси за производство на полупроводници.

Графитен фиксатор с SiC покритие за ASM

Veteksemicon SiC покрит графитен приемник за ASM е основен носещ компонент в епитаксиални процеси на полупроводници. Този продукт използва нашата собствена технология за покритие от пиролитичен силициев карбид и прецизни процеси на обработка, за да осигури превъзходна производителност и ултра-дълъг живот при висока температура и корозивна среда. Ние дълбоко разбираме строгите изисквания на епитаксиалните процеси за чистота на субстрата, термична стабилност и консистенция и се ангажираме да предоставяме на клиентите стабилни, надеждни решения, които подобряват цялостната производителност на оборудването.

Фокусен пръстен от силициев карбид

Фокусиращият пръстен Veteksemicon е проектиран специално за взискателно оборудване за ецване на полупроводници, особено приложения за ецване на SiC. Монтиран около електростатичния патронник (ESC), в непосредствена близост до пластината, основната му функция е да оптимизира разпределението на електромагнитното поле в реакционната камера, осигурявайки равномерно и фокусирано плазмено действие по цялата повърхност на пластината. Високоефективен пръстен за фокусиране значително подобрява равномерността на скоростта на ецване и намалява ефектите на ръбовете, като директно повишава добива на продукта и ефективността на производството.

QR код

За нас

Продукти

Свържете се с нас

Телефон
+86-15988690905
факс
+86-579-87223657
Електронна поща
anny@veteksemi.com
Адрес
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Китай

Уеб меню

Търсене на продукти

език

Изход от менюто