Пръстен за фокусиране от силициев карбид

Фокусиращият пръстен от твърд силициев карбид Veteksemicon е основен компонент в производството на полупроводници, стратегически разположен извън пластината, за да поддържа директен контакт. Чрез използване на приложено напрежение, този пръстен фокусира плазмата, преминаваща през него, като по този начин подобрява равномерността на процеса върху пластината. Изработен единствено от силициев карбид с химическо отлагане на пари (CVD SiC), този фокусиращ пръстен въплъщава изключителните качества, изисквани от полупроводниковата индустрия. Ние от Veteksemicon сме посветени на производството и доставката на високоефективни фокусиращи пръстени от твърд силициев карбид, които съчетават първокласно качество с рентабилност.

Предимства на продукта

В сравнение с традиционнитеСилициеви (Si) или синтерован силициев карбид (Sintered SiC) фокусни пръстени, нашият продукт се отличава с ключови размери:

Трябва да се отбележи, че проводимостта и устойчивостта на силициевия карбид към йонно ецване са много сходни със силиция, осигурявайки съвместимост със съществуващите процеси за производство на полупроводници, като същевременно осигурява подобрена производителност – което прави фокусиращия пръстен от твърд силициев карбид Veteksemicon идеален избор на материал за това критично приложение.

The Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring stands as a state-of-the-art solution in the realm of semiconductor manufacturing. Той напълно използва уникалните материални предимства на  CVD SiC, за да улесни надеждни, високопрецизни и високоефективни процеси на ецване, като значително допринася за напредъка на полупроводниковата технология от следващо поколение.