Душ глава от твърд SiC газ

Душ глава от твърд SiC газ

VeTek Semiconductor е интегрирана компания, посветена на изследванията, производството и продажбите. VeTek Semiconductor работи върху полупроводникова епитаксия, ецване и други свързани с процеса продукти в продължение на много години, особено CVD SiC покритие, CVD TaC покритие и CVD Solid SiC са нашите водещи продукти.

VeTek Semiconductor Solid SiC Gas Shower Head обикновено се използва за равномерно разпределяне на прекурсорни газове върху повърхността на субстрата по време на полупроводникови CVD процеси. Използването на CVD-SiC материал за душове предлага няколко предимства. Неговата висока топлопроводимост помага за разсейването на топлината, генерирана в CVD процеса, осигурявайки равномерно разпределение на температурата върху субстрата. В допълнение, химическата стабилност на душовата глава CVD sic му позволява да издържа на корозивни газове и тежки среди, често срещани при CVD процеси. 

Дизайнът на CVD SIC душ глави може да бъде съобразен със специфични CVD системи и изисквания за процеса. Въпреки това, те обикновено се състоят от плоча или компонент с форма на диск с серия от прецизно пробити отвори или слотове. Моделът на отвора и геометрията са внимателно проектирани, за да осигурят равномерно разпределение на газа и скорост на потока върху повърхността на субстрата.

Физически свойства на твърд sic