Продукти

Кварцовите тигли от полупроводников клас Veteksemicon са ключови консумативи в процеса на растеж на единичен кристал на Чохралски. С изключителна чистота и превъзходна термична стабилност като наш основен фокус, ние се ангажираме да предоставяме на клиентите висококачествени продукти, които показват стабилна производителност и отлична устойчивост на кристализация при среда с висока температура и високо налягане. Това гарантира качеството на кристалните пръчки от източника, като помага на производството на полупроводникови силициеви пластини да постигне по-високи добиви и по-добра рентабилност.

Фокусиращият пръстен Veteksemicon е проектиран специално за взискателно оборудване за ецване на полупроводници, особено приложения за ецване на SiC. Монтиран около електростатичния патронник (ESC), в непосредствена близост до пластината, основната му функция е да оптимизира разпределението на електромагнитното поле в реакционната камера, осигурявайки равномерно и фокусирано плазмено действие по цялата повърхност на пластината. Високоефективен пръстен за фокусиране значително подобрява равномерността на скоростта на ецване и намалява ефектите на ръбовете, като директно повишава добива на продукта и ефективността на производството.

Носещата плоча от силициев карбид Veteksemicon за LED офорт, специално проектирана за производство на LED чипове, е основен консуматив в процеса на офорт. Изработен от прецизно синтерован силициев карбид с висока чистота, той предлага изключителна химическа устойчивост и стабилност на размерите при висока температура, като ефективно издържа на корозия от силни киселини, основи и плазма. Неговите свойства на ниско замърсяване осигуряват високи добиви за LED епитаксиални пластини, докато неговата издръжливост, далеч надхвърляща тази на традиционните материали, помага на клиентите да намалят общите оперативни разходи, което го прави надежден избор за подобряване на ефективността и последователността на процеса на ецване.

Графитната лодка Veteksemicon за PECVD е прецизно изработена от графит с висока чистота и е проектирана специално за плазмено усилени процеси на химическо отлагане на пари. Възползвайки се от дълбокото ни разбиране на полупроводниковите материали с термично поле и възможностите за прецизна обработка, ние предлагаме графитни лодки с изключителна термична стабилност, отлична проводимост и дълъг експлоатационен живот. Тези лодки са проектирани да осигурят изключително равномерно отлагане на тънък филм върху всяка пластина в взискателната среда на PECVD процес, подобрявайки добива и производителността на процеса.

Графитният пръстен с CVD TaC покритие от Veteksemicon е проектиран да отговаря на екстремните изисквания на обработката на полупроводникови пластини. Използвайки технологията за химическо отлагане на пари (CVD), плътно и равномерно покритие от танталов карбид (TaC) се нанася върху графитни субстрати с висока чистота, постигайки изключителна твърдост, устойчивост на износване и химическа инертност. При производството на полупроводници CVD TaC покритият графитен пръстен се използва широко в MOCVD, камери за ецване, дифузия и епитаксиален растеж, служейки като ключов структурен или уплътняващ компонент за носители на пластини, фиксатори и екраниращи възли. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Порестият графитен пръстен с покритие от TaC, произведен от VETEK, използва лек порест графитен субстрат и е покрит с покритие от танталов карбид с висока чистота, характеризиращо се с отлична устойчивост на високи температури, корозивни газове и плазмена ерозия