Вафлена лодка с високочисто CVD SiC покритие

1. Основни фактори за ефективност?

• Чистота на ниво 7N:Поддържаме стандарт за чистота 99,99999% (7N). Това не подлежи на обсъждане за предотвратяване на мигрирането на метални замърсители в пластината по време на дълги стъпки на вкарване или окисляване.
• CVD уплътнение (50–300 μm):Ние не просто "боядисваме" повърхността. Нашият 50–300 μm CVD SiC слой създава пълно уплътнение върху субстрата. Това елиминира порьозността, което означава, че лодката няма да улавя химикали или да отделя частици дори след многократно излагане на реактивни газове или агресивно почистване със SPM/DHF.
• Термична твърдост:Естественото ниско термично разширение на силициевия карбид поддържа тези лодки прави. Те няма да увиснат или да се усукват по време на бързото термично отгряване (RTA), като гарантират, че ръката на робота винаги удря десния слот без задръстване.
• Устойчиви добиви:Повърхността е проектирана за ниска адхезия на странични продукти. По-малкото натрупване означава по-малко частици, удрящи вашите вафли, и повече цикли между циклите на мокро почистване на масата.
• Персонализирана геометрия:Всяка фабрика има своя собствена настройка. Ние ги обработваме според вашите специфични чертежи на стъпка и процеп, независимо дали работите с хоризонтална пещ или вертикална 300 mm автоматизирана линия.

2. Съвместимост на процеса

• атмосфера:Устойчив на TMGa, AsH₃ и среда с висока концентрация на O₂.
• Термичен диапазон:Стабилна дългосрочна работа до 1400°C.
• Материали:Специално проектиран за процеси на окисление и дифузия на пластини Logic, Power и Analog.