Какво е TAC покритие? - Полупроводник Vetek

TAC покритие (Tantalum карбидно покритие) е високоефективен покривен материал, произведен чрез процес на отлагане на химически пари (CVD). Поради отличните свойства на TAC покритието при екстремни условия, той се използва широко в процеса на производство на полупроводници, особено в оборудването и компонентите, които изискват висока температура и силна корозивна среда. TAC покритието обикновено се използва за защита на субстратите (като графит или керамика) от увреждане от висока температура, корозивни газове и механично износване.

Физични свойства на TAC покритие

Характеристики на продукта и предимства

● Изключително висока термична стабилност:

Описание на характеристиките: TAC покритието има точка на топене над 3880 ° C и може да поддържа стабилност без разлагане или деформация в изключително висока температурна среда.

Предимство: Това го прави незаменим материал при високотемпературно полупроводниково оборудване, като CVD TAC покритие и SOSCEPTOR с TAC, особено за приложения в MOCVD реактори, като оборудване Aixtron G5.

● Отлична устойчивост на корозия:

Описание на характеристиките: TAC има изключително силна химическа инертност и може ефективно да устои на ерозията на корозивните газове като хлориди и флуориди.

Предимства: В полупроводниковите процеси, включващи силно корозивни химикали, TAC покритието защитава компонентите на оборудването от химическа атака, удължава експлоатационния живот и подобрява стабилността на процеса, особено при прилагането на лодката на вафли от силициев карбид и други ключови компоненти.

● Отлична механична твърдост:

Описание на характеристиките: Твърдостта на TAC покритието е до 9-10 MOHs, което го прави устойчив на механично износване и висок температурен стрес.

Предимство: Свойството с висока твърдост прави TAC покритието особено подходящо за използване във високо износване и висока стресова среда, като гарантира дългосрочната стабилност и надеждността на оборудването при тежки условия.

● Ниска химическа реактивност:

Описание на характеристиките: Поради своята химическа инертност, TAC покритието може да поддържа ниска реактивност във високотемпературни среди и да избегне ненужни химични реакции с реактивни газове.

Предимство: Това е особено важно в процеса на производство на полупроводници, тъй като гарантира чистотата на обработващата среда и висококачественото отлагане на материалите.

Ролята на TAC покритие в обработката на полупроводници

● Защита на ключовите компоненти на оборудването:

Описание на функцията: TAC покритието се използва широко в ключови компоненти на оборудването за производство на полупроводници, като например SOSCEPTOR, покрито с TAC, които трябва да работят при екстремни условия. Чрез покритие с TAC тези компоненти могат да работят за дълги периоди от време във висока температура и корозивна газова среда, без да се повредят.

● Разширяване на живота на оборудването:

Описание на функцията: В MOCVD оборудване като Aixtron G5, TAC покритието може значително да подобри издръжливостта на компонентите на оборудването и да намали нуждата от поддръжка и подмяна на оборудването поради корозия и износване.

● Подобряване на стабилността на процеса:

Описание на функцията: При производството на полупроводници TAC покритието гарантира равномерността и консистенцията на процеса на отлагане, като осигурява стабилна висока температура и химическа среда. Това е особено важно в процесите на епитаксиален растеж като силиконова епитаксия и галий нитрид (GAN).

● Подобряване на ефективността на процеса:

Описание на функцията: Чрез оптимизиране на покритието на повърхността на оборудването, TAC покритието може да подобри общата ефективност на процеса, да намали скоростта на дефект и да увеличи добива на продукта. Това е от решаващо значение за производството на полупроводникови материали с висока точност.

Високата термична стабилност, отличната устойчивост на корозия, механичната твърдост и ниската химическа реактивност, проявени от TAC покритие по време на обработката на полупроводникови, го правят идеален избор за защита на компонентите на оборудването за производство на полупроводници. Тъй като търсенето на полупроводникова индустрия за висока температура, високата чистота и ефективните производствени процеси продължават да се увеличават, TAC покритието има широки перспективи за приложение, особено в оборудване и процеси, включващи CVD TAC покритие, Soudceptor с покритие с TAC и Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd е водещ доставчик на усъвършенствани материали за покритие за полупроводниковата индустрия. Нашата компания се фокусира върху разработването на авангардни решения за индустрията.

Нашите основни предложения за продукти включватCVD силициев карбид (SIC) покрития, Танталум карбид (TAC) покрития, насипни SIC, SIC прахове и SIC материали с висока чистота, графит с графит, покрит с графит, пръстени за предварително нагреване, пръстен с отклонение, покрито с TAC, части от половин мест и др., Чистотата е под 5ppm, може да отговаря на изискванията на клиента.

Vetek Semiconductor се фокусира върху разработването на авангардни технологии и решения за разработване на продукти за полупроводниковата индустрия.Искрено се надяваме да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.