Табела за поддръжка на пиедестал

Vetek Semiconductor е China Manufacturer & доставчик, който произвежда главно CVD TAC покритие на покритие, входящ пръстен, вафла Chunkk, държач за покритие с TAC, табела за поддръжка на пиедестал с много години опит. Надявам се да изградим бизнес отношения с вас.

TAC керамиката има точка на топене до 3880 ℃, висока твърдост (MOHS твърдост 9 ~ 10), голяма топлопроводимост (22W · m^-1· K⁻¹), голяма якост на огъване (340 ~ 400mpa) и малък коефициент на термично разширение (6.6 × 10⁻⁶K⁻¹), и показват отлична термохимична стабилност и отлични физически свойства. Той има добра химическа и механична съвместимост с композитни материали Graphite и C/C, така че TAC покритието се използва широко в аерокосмическата термична защита, растеж на единичен кристал и епитаксиални реактори като Aixtron, LPE EPI реактор в полупроводниковата индустрия. 

TAC покрит графит има по -добра химическа устойчивост на корозия от гола каменна мастило или графит с покритие от SIC, може да се използва стабилно при 2200 ° висока температура, не реагира с много метални елементи, е третото поколение полупроводниково растеж на единични кристали, епитаксия и вафли за офорт на най -добрата производителност, може значително да подобри процеса на температура и неблагоприятна атмос вафли. Той е особено подходящ за отглеждане на единичен кристал GAN или ALN в MoCVD оборудване и SIC единичен кристал в PVT оборудване, а качеството на отглеждането на единичен кристал очевидно се подобрява.