Продукти
TAC покритие резервна част
  • TAC покритие резервна частTAC покритие резервна част

TAC покритие резервна част

Понастоящем TAC покритието се използва главно при процеси като еднократно кристален растеж на силициев карбид (метод на PVT), епитаксиален диск (включително епитаксия на силициев карбид, LED епитаксия) и др. В комбинация с добрата дългосрочна стабилност на так-покриващата плоча, Veteksemicon Tac Coating Plate се превърна в табела за покритие на TAC. Очакваме с нетърпение да станете наш дългосрочен партньор.

ПолупроводникTac покритиее специален материал, широко използван вПолупроводниковоПроцес на производство. В комбинация с високата си твърдост и устойчивост на износване, висока температурна устойчивост, устойчивост на корозия, нискокачествен коефициент на триене и добра термична проводимост, плочата за покритие на TAC играе незаменима роля в много връзки на полупроводниковата обработка.


Като цяло приложенията наТабели с покритие с такПри обработката на полупроводници са както следва:


● Субстрат за растеж на CVD/ALD: Високата температурна съпротивление, химическата стабилност и ниският коефициент на триене на таксовите плочи ги правят идеални субстрати за растеж на CVD/ALD. Той може да осигури стабилна среда за растеж, за да се гарантира равномерността и плътността на филма.

●  Офорт маска табела: Високата твърдост и устойчивост на корозия на так-покрити плочи им позволяват да издържат на високоенергийни процеси като плазмено офорт, като табели за маскиране, защитаващи основния филм.

●  CMP полираща подложка: Коефициентът на устойчивост на износване и ниския коефициент на триене на плочите, покрити с так

●  Тръба с висока температура на пещ: Високата температурна устойчивост и устойчивост на корозия на таловите плочи, покрити с так


CVD TAC покритие Технически параметри

Основни физически свойства на CVD SIC покритие
Собственост
Типична стойност
Кристална структура FCC β фазов поликристален, главно (111) ориентиран
CVD SIC Плътност на покритието
3.21 g/cm³
Твърда на покритие SIC
2500 твърдост на Vickers (500g товар)
Размер на зърното
2 ~ 10 мм
Химическа чистота
99.99995%
Топлинен капацитет
640 J · kg-1· K-1
Температура на сублимация
2700 ℃
Сила на гъвкавост
415 MPa RT 4-точкова
Модулът на Young
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Топлинна проводимост
300W · m-1· K-1
Термично разширение (CTE)
4.5 × 10-6K-1

Vetek Semiconductor Tac покритие Резервни части Продукти магазини

TaC Coating spare part products shops

Горещи маркери: TAC покритие резервна част
Изпратете запитване
Информация за контакт
  • Адрес

    Wangda Road, улица Зиян, окръг Вуи, град Джинхуа, провинция Жеджианг, Китай

  • Електронна поща

    anny@veteksemi.com

За запитвания относно покритие от силициев карбид, покритие от танталов карбид, специален графит или ценова листа, моля, оставете своя имейл до нас и ние ще се свържем в рамките на 24 часа.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept