TaC пръстен с покритие

TaC покритието на VeTek semiconductor е изработено от висококачествен графит и покрито с танталов карбид (TaC), материал, известен със своите превъзходни свойства, е незаменим компонент при обработката на полупроводникови пластини.

Ключовите характеристики и предимства на пръстена за покритие на полупроводник на Vetek:

● Висока термична стабилност: Една от забележителните характеристики на пръстена с покритие от танталов карбид е способността му да издържа на високи температури, критичен фактор при ецването на полупроводници. Процесът на ецване на SiC включва излагане на повишени температури и реактивни газове, а покритието от танталов карбид гарантира, че пръстенът остава стабилен и запазва своята структурна цялост дори при тези тежки условия. Тази термична устойчивост гарантира, че компонентът продължава да работи оптимално за продължителни периоди.

●  Подобрена механична якост: Комбинацията от високоякостно графит и TAC покритие води до компонент с подобрени механични свойства, което прави пръстена, покрито с TAC, силно устойчив на износване. Механичната му якост е от решаващо значение за държането на SIC вафли на място, осигурявайки точно офорт и предотвратяване на всякаква деформация по време на процеса.

●  Устойчивост на химическа корозия: В полупроводниковите процеси като SIC офорт компонентите често са изложени на агресивни химикали и реактивни газове. Карбидното покритие Tantalum осигурява отлична защита срещу корозия, като значително удължава полезния живот на пръстена и минимизиране на нуждата от чести замествания. Това съпротивление е особено важно в процеса на офорт, където компонентите са в постоянен контакт с химически реактивни вещества.

●  Превъзходни покрития CoatiTaC за подобрена производителност: Покритието на карбид Tantalum върху графитния пръстен осигурява здрава повърхност, която повишава цялостната производителност на компонента. Tantalum карбидът е известен с високата си точка на топене (приблизително 3,880 ° C) и отличната си устойчивост на химични реакции, особено в агресивните среди, които обикновено се срещат по време на производствените процеси на полупроводници. Това покритие от карбид Tantalum значително подобрява продължителността на живота на продукта, осигурявайки превъзходна издръжливост в сравнение с безкрити графитни пръстени.

●  Подобрена механична якост: Комбинацията от високоякостно графит и TAC покритие води до компонент с подобрени механични свойства, което прави пръстена, покрито с TAC, силно устойчив на износване. Механичната му якост е от решаващо значение за държането на SIC вафли на място, осигурявайки точно офорт и предотвратяване на всякаква деформация по време на процеса.

Като водещ доставчик на пръстени, производител и фабрика за покритие на TAC, полупроводник Vetek отдавна се ангажира да предоставя Advanced Tac Coating Ring Products и технически решения за индустрията за обработка на полупроводници и поддържа персонализирани продуктови услуги. Veteksemi искрено очаква с нетърпение да стане ваш дългосрочен партньор в Китай.

Физични свойства на TAC покритие

Магазини за продукти с TaC Coating Ring на VeTek semiconductor