Единична вафла EPI графит Графит

Описание:

Единичният вафлен EPI графитен чувствител включва набор от графитен табла, графитен пръстен и други аксесоари, използвайки графитен субстрат с висока чистота + отлагане на силициев карбид, покриваща структура, като се вземе предвид стабилността на високотемпературата, химическата инерция и равномерността на термичното поле. Той е основният носещ компонент на високоточният епитаксиален лист в масовото производство.

Материални иновации: Графит +SIC покритие

Графит

● Ултра-висока топлопроводимост (> 130 W/M · K), бърза реакция на изискванията за контрол на температурата, за да се гарантира стабилността на процеса.

● Ниски коефициент на термично разширение (CTE: 4.6 × 10⁻⁶/° C), намаляват деформацията на високата температура, удължават експлоатационния живот.

CVD SIC покритие

● Корозионна устойчивост. Съпротивлявайте се на атака чрез реакционни газове като H₂, HCl и Sih₄. Той избягва замърсяването на епитаксиалния слой чрез изпаряване на основния материал.

● Повърхностно уплътняване: Портозността на покритието е по -малка от 0,1%, което предотвратява контакта между графит и вафла и предотвратява дифузията на въглеродните примеси.

● Висока температурна толерантност: Дългосрочна стабилна работа в околната среда над 1600 ° C, адаптира се към високотемпературното търсене на SIC епитаксия.

Дизайн на оптимизация на термично поле и въздушен поток

Еднообразна структура на термична радиация

Повърхността на чувствителността е проектирана с множество канали на термично отражение, а системата за управление на термичното поле на ASM устройството постига равномерност на температурата в рамките на ± 1,5 ° C (6-инчова вафла, 8-инчова вафла), като гарантира консистенция и равномерност на дебелината на епитаксиалния слой (колебание <3%).

Техника на въздушното управление

Дупките за отклоняване на ръбовете и наклонените опорни колони са проектирани да оптимизират разпределението на ламинарния поток на реакционния газ върху повърхността на вафли, да намали разликата в скоростта на отлагане, причинена от вихровите токове, и да подобри допинг равномерността.