Предварителен пръстен

Предварителният пръстен е ключово оборудване, специално проектирано за процеса на епитаксиални (EPI) в производството на полупроводници. Използва се за предварително загряване на вафли преди процеса на EPI, като се гарантира стабилността на температурата и равномерността през целия епитаксиален растеж.

Произведен от Vetek Semiconductor, нашият EPI Pre Heat Ring предлага няколко забележителни функции и предимства. Първо, той е конструиран с помощта на материали с висока топлопроводимост, което позволява бърз и равномерен пренос на топлина към повърхността на вафли. Това предотвратява образуването на горещи точки и градиенти на температурата, осигурявайки постоянно отлагане и подобряване на качеството и равномерността на епитаксиалния слой. Освен това, нашият EPI Pre топлинен пръстен е оборудван с усъвършенствана система за контрол на температурата, което позволява прецизен и последователен контрол на температурата преди загряване. Това ниво на контрол повишава точността и повторяемостта на решаващите стъпки като растежа на кристали, отлагането на материали и реакциите на интерфейса по време на процеса на EPI.

Издръжливостта и надеждността са основни аспекти на нашия продукт. Топлинният пръстен на EPI е изграден, за да издържа на високи температури и работното налягане, поддържайки стабилността и производителността през продължителни периоди. Този дизайнерски подход намалява разходите за поддръжка и подмяна, като гарантира дългосрочната надеждност и ефективността на експлоатацията. Инсталирането и работата на EPI Pre Heat Ring са лесни, тъй като той е съвместим с обичайното EPI оборудване. Той разполага с удобен за потребителя механизъм за поставяне и извличане на вафли, подобрявайки удобството и оперативната ефективност.

В полупроводника на Vetek ние също предлагаме услуги за персонализиране, за да отговорим на конкретни изисквания на клиента. Това включва приспособяване на размера, формата и температурния диапазон на EPI PRE топлинен пръстен, за да се приведе в съответствие с уникалните производствени нужди. За изследователи и производители, участващи в епитаксиален растеж и производство на полупроводникови устройства, EPI Pre Heat Ring от Vetek Semiconductor осигурява изключителна производителност и надеждна поддръжка. Той служи като критичен инструмент за постигане на висококачествен епитаксиален растеж и улесняване на ефективните процеси на производство на полупроводникови устройства.

SEM данни за CVD SIC филм