TAC покритие за въртене на покритието

TAC покривно покритие на Vetek Semiconductor има състав на висока чистота, съдържание на примеси по -малко от 5PPM и плътна и равномерна структура, която се използва широко в LPE EPI системи, Aixtron Systems, Nuflare Systems, TEL CVD системи, VEECO системи, TSI системи.

● Отлични механични свойства:

Твърда на покритие до 2300HV, с отлична устойчивост на износване.

Адхезията между покритието и субстрата е силна и не е лесно да се падне или да се обели.

Покритието все още може да поддържа добра структурна стабилност при висока температура.

●  Отлична устойчивост на корозия:

Самият TAC материал има отлична химическа стабилност и устойчивост на корозия.

Покритията на полупроводника на Vetek се представят добре в различни агресивни газови среди.

Може ефективно да защити вътрешните компоненти на оборудването от увреждане на корозия.

● Високо повърхностно покритие:

Vetek Semiconductor използва прецизен процес на покритие, за да произведе желаното покритие.

Ниската грапавост на повърхността помага за намаляване на натрупването и отлагането на частиците.

● Консистенцията на покритието е добра:

Vetek Semiconductor има система за контрол на качеството на звука, за да гарантира постоянна работа между партидите.

Дебелината на покритието е равномерно разпределена и няма очевидни локални дефекти.

● Отлично практическо изпълнение на приложението:

TAC покритието на Vetek Semiconductor се използва широко в много известни производители на епитаксиално оборудване у дома и в чужбина.

Физически параметър на продукта на въртящата се плоча с покритие с TAC:

Tantalum карбидно покритие на микроскопично напречно сечение