Вафлена лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ

Висококачествена лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ се предлага от китайския производител VeTek Semiconductor. Купете лодка за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ, която е с високо качество директно от фабриката на ниска цена. Лодка за пластини от силициев карбид за хоризонтална пещ се използва в тръбите на пещта за зареждане и прехвърляне на пластини по време на високотемпературни обработки. Благодарение на отличните свойства на материалите от силициев карбид, като устойчивост на висока температура, устойчивост на химическа корозия и термична стабилност, те се използват широко в различни процеси на топлинна обработка като дифузия, окисление, CVD и отгряване.

Вафлената лодка от силициев карбид за хоризонтална пещ е изработена от материал от силициев карбид и има следните характеристики:

1. Висока твърдост и устойчивост на износване: Силициевият карбид има твърдост, втора след диаманта, което го прави изключително устойчив на износване. Това позволява на лодките от силициев карбид да издържат на повтарящи се механични удари и триене, удължавайки експлоатационния им живот.

2. Устойчивост на висока температура: Силициевият карбид има точка на топене от 2730°C, което прави лодките от силициев карбид подходящи за среда с висока температура и различни производствени процеси на полупроводници, като високотемпературно окисление и дифузия.

3. Нисък коефициент на термично разширение: Силициевият карбид има нисък коефициент на термично разширение, което помага да се поддържа стабилността на размерите при високи температури, предотвратявайки деформация на лодката и влияе върху точността на обработка на пластини.

4. Добра химическа стабилност: Силициевият карбид е устойчив на повечето химикали и не реагира с обикновени киселинни и алкални разтвори, което гарантира безопасността и чистотата на пластините.

Можем да произвеждаме различни видове вафлени лодки от силициев карбид, като хоризонтални вафлени лодки, вертикални вафлени лодки и всякакви други персонализирани лодки.

Използваме прекристализиран силициев карбид с висока чистота със следните параметри:

Приложения

Вафлената лодка от силициев карбид за хоризонтални пещи намира широко приложение в полупроводниковата и фотоволтаичната промишленост:

Почистване и ецване на вафли

Дифузия и окисление

Галванопластика и ецване

Химическо механично полиране (CMP)

Термична обработка

Пренасяне и съхранение на вафли

Цех за производство на полупроводници VeTek: