Продукти

Порестият SIC керамичен патрон от Veteksemicon е точна инженерна вакуумна платформа, предназначена за сигурна и без частици вафли в усъвършенствани полупроводникови процеси като ецване, йонна имплантация, CMP и проверка. Произведен от пореста силициев карбид с висока чист, той предлага изключителна топлопроводимост, химическа устойчивост и механична якост. С персонализирани размери и размери на порите, Veteksemicon предоставя персонализирани решения, за да отговори на строгите изисквания на средата за обработка на вафли за чисти стаи.

Нашите лодки на кварцови вафли са разтвор за носещи вафли с висока чист, пригоден за процеси на полупроводник, LED, слънчеви клетки и производство на батерии. Проектиран за издържане на високи температури и химически агресивни среди, тази кварцова лодка разполага с ниско термично разширение, отлична електрическа изолация и дългосрочна стабилност на размерите. Идеален за дифузия, окисляване и LPCVD процеси, той поддържа прецизно подравняване на вафли и се предлага в различни размери, за да отговаря на различни изисквания за оборудване.

Veteksemicon SIC конзолни гребла са с високо чистота силициев карбид, предназначени за обработка на вафли в хоризонтални дифузионни пещи и епитаксиални реактори. С изключителна термична проводимост, устойчивост на корозия и механична якост тези гребла гарантират стабилност и чистота в взискателни полупроводникови среди. Предлага се в персонализирани размери и оптимизиран за дълъг експлоатационен живот.

SIC блокът на Veteksemicon е предназначен за смилане на високоефективно и изтъняване на силициеви и сапфирски вафли. С отлична топлопроводимост (≥120 W/m · K), висока устойчивост на термичен удар и превъзходна устойчивост на износване (MOHS ≥9), нашите блокове подобряват стабилността на процеса и намаляват честотата на промяната на инструмента. Предлага се в размери от 120 мм до 480 мм, с персонализирани опции и бърза доставка, за да отговори на различни производствени нужди.

Притежателят на вафли със силициев карбид от Veteksemicon е проектиран за прецизност и производителност при усъвършенствани полупроводникови процеси като MOCVD, LPCVD и отгряване с висока температура. С равномерно CVD SIC покритие този държач за вафли осигурява изключителна топлопроводимост, химическа инертност и механична якост-от съществено значение за обработката на вафли без вафли без замърсяване.

Veteksemicon High Cright SIC Renge Rangs, специално проектирани за оборудване за полупроводници за офорт, разполагат с изключителна устойчивост на корозия и термична стабилност, значително подобрявайки добива на вафли