Продукти

Носещата плоча от силициев карбид Veteksemicon за LED офорт, специално проектирана за производство на LED чипове, е основен консуматив в процеса на офорт. Изработен от прецизно синтерован силициев карбид с висока чистота, той предлага изключителна химическа устойчивост и стабилност на размерите при висока температура, като ефективно издържа на корозия от силни киселини, основи и плазма. Неговите свойства на ниско замърсяване осигуряват високи добиви за LED епитаксиални пластини, докато неговата издръжливост, далеч надхвърляща тази на традиционните материали, помага на клиентите да намалят общите оперативни разходи, което го прави надежден избор за подобряване на ефективността и последователността на процеса на ецване.

Графитната лодка Veteksemicon за PECVD е прецизно изработена от графит с висока чистота и е проектирана специално за плазмено усилени процеси на химическо отлагане на пари. Възползвайки се от дълбокото ни разбиране на полупроводниковите материали с термично поле и възможностите за прецизна обработка, ние предлагаме графитни лодки с изключителна термична стабилност, отлична проводимост и дълъг експлоатационен живот. Тези лодки са проектирани да осигурят изключително равномерно отлагане на тънък филм върху всяка пластина в взискателната среда на PECVD процес, подобрявайки добива и производителността на процеса.

Графитният пръстен с CVD TaC покритие от Veteksemicon е проектиран да отговаря на екстремните изисквания на обработката на полупроводникови пластини. Използвайки технологията за химическо отлагане на пари (CVD), плътно и равномерно покритие от танталов карбид (TaC) се нанася върху графитни субстрати с висока чистота, постигайки изключителна твърдост, устойчивост на износване и химическа инертност. При производството на полупроводници CVD TaC покритият графитен пръстен се използва широко в MOCVD, камери за ецване, дифузия и епитаксиален растеж, служейки като ключов структурен или уплътняващ компонент за носители на пластини, фиксатори и екраниращи възли. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Порестият графитен пръстен с покритие от TaC, произведен от VETEK, използва лек порест графитен субстрат и е покрит с покритие от танталов карбид с висока чистота, характеризиращо се с отлична устойчивост на високи температури, корозивни газове и плазмена ерозия

Конзолната лопатка от силициев карбид от Veteksemicon е проектирана за усъвършенствана обработка на пластини в производството на полупроводници. Изработен от SiC с висока чистота, той осигурява изключителна термична стабилност, превъзходна механична якост и отлична устойчивост на високи температури и корозивни среди. Тези характеристики гарантират прецизно боравене с пластини, удължен експлоатационен живот и надеждна производителност в процеси като MOCVD, епитаксия и дифузия. Добре дошли за консултация.

Керамичният вакуумен патронник Veteksemicon SiC за пластини е проектиран да осигурява изключителна прецизност и надеждност при обработката на полупроводникови пластини. Произведен от силициев карбид с висока чистота, той осигурява отлична топлопроводимост, химическа устойчивост и превъзходна механична якост, което го прави идеален за взискателни приложения като ецване, отлагане и литография. Неговата изключително плоска повърхност гарантира стабилна опора за пластини, минимизирайки дефектите и подобрявайки добива на процеса. този вакуумен патронник е надеждният избор за високоефективно боравене с пластини.