Вакуумна пещ за горещо пресоване на силициев карбид

Технологията за свързване на семена от SiC е един от ключовите процеси, които влияяткристален растеж.ВЕТЕК разработи специализиранавакуумна пещ за горещо пресованеза свързване на семена въз основа на характеристиките на този процес. Пещта може ефективно да намали различни дефекти, генерирани по време на процеса на свързване на семената, като по този начин подобрява добива и крайното качество на кристалния блок.

Представяне

1. Пещта се използва за свързване на семена предиРастеж на кристали SiC

2. Свързаното семе може да остане здраво закрепено при температура от 2300 ℃, поддържайки 100% адхезия без въздушни мехурчета, с висока плоскост, чиста повърхност на семето и без адсорбирани примеси

3. Отопляемата форма на плоча е приета съпротивително нагряване на спирална дисковидна, равномерна зона на нагряване, безопасна е за използване, лесна за работа

4. Дъното на формата на товарната плоча, оборудвано със сензори за сила, притискащата сила върху детайла трябва да бъде прецизно показана 

Функция Въведение

1. Металната камера с водно охлаждане на двойната стена намалява ефективно температурата на външната повърхност на тялото на пещта, минимизира вредата от висока температура и намалява въздействието върху околната среда.

2. Може да постигне автоматично увеличаване на притискащата сила и задържането на силата, бавна сила на натоварване и изместването може да се контролира автоматично.

3. Налични са разнообразни вакуумни конфигурации и различни нива на вакуум могат да бъдат избрани според процеса.

4. Равномерно налягане и висока точност на контрол на температурата.

5. Структурата на притискащата сила приема прецизен механичен дизайн на тягата, осигуряващ точна и стабилна сила на притискане, безопасна употреба и екологичност.

6. Долният печат е свързан към тласкача с "универсален" начин. Гарантира се, че когато детайлът е потиснат, повърхността на щампа надолу е под адаптивен паралел с повърхността на нагрятата форма на плоча, гарантира, че детайлът носи еднаква притискаща сила.

7. Печатът надолу има функция за буфериране на натоварването на притискащата сила, осигурявайки плавно и меко притискане без удар, като по този начин предотвратява напукване на детайла.

9. Както нагрятата плоча, така и щампата за притискаща сила са оборудвани с топлоизолационен щит за намаляване на неефективната загуба на температура.

Параметър

Характеристика

1. Бавно вакуумно изпомпване, регулируема скорост на вакуумно изпомпване

2. Голяма камера, голямо пространство за надграждане

3. Печатът надолу работи стабилно и работи автоматично

4. Бавно облекчаване и бавно увеличаване на притискащата сила, рампа на притискащата сила според рецептата автоматично управление

5. Прецизно програмирано управление на температурата и притискащата сила

6. Параметрите на вакуум, притискаща сила и температура могат да бъдат свободно зададени, за да съответстват на различни процеси на свързване

7. Свързването е уплътнено и без мехурчета

8. Степента на кракване е изключително ниска, като почти няма пукнатини, причинени от проблеми с оборудването

9. Съвместим със залепване на семена от 6-12 инча

10.Макс. притискаща сила: 1.6 T

11. Максимален вакуум: 5 Pa (студено)

12. Температурна еднородност на нагрятата плоча: <±3 ℃, σ<4 (200 ℃)

13. Колебания на налягането: <0,5%