Продукти

Ако някога сте се сблъсквали с неравномерен газов поток или замърсяване с частици в камера за отлагане, VETEK CVD SiC Coated Graphite душ глава е проектирана да реши това. Започва с изостатичен графит с висока чистота за термична стабилност и лесна машинна обработка, след което получава плътно CVD покритие от силициев карбид (SiC), което запечатва повърхността, издържа на корозивни газове (като HCl или NF₃) и предотвратява отделянето на газове. Резултатът е газоразпределителна плоча, която осигурява равномерен поток през пластината, справя се с високотемпературна епитаксия и издържа много по-дълго от чистия графит или кварц – което я прави надежден компонент за процеси на CVD, PECVD, MOCVD, силициева епитаксия и SiC епитаксия. Ние също така предлагаме персонализирани модели и размери на отворите, защото няма два напълно еднакви реактора.

Прахът от силициев карбид (SiC) с висока чистота на VeTek Semiconductor е специално разработен за растеж на SiC кристали, полупроводникови материали и усъвършенствани керамични приложения. Чрез усъвършенствана технология за пречистване и строг контрол на качеството, нашият SiC прах предлага изключително ниски нива на примеси, стабилно разпределение на частиците и отлична консистенция за взискателни производствени процеси.

В настройките за растеж на кристали SiC PVT, графитните части работят при много високи температури за дълги периоди. Графитният пръстен с PyC покритие на VeTek е създаден за този вид мито. Пиролитичен въглероден слой се отлага върху графит с висока чистота чрез CVD. Това дава на частта по-добра повърхностна стабилност и по-малко частици, отделящи се по време на работа. Обикновено го поставяте в областта на термичното поле, за да управлявате потока на парите и как топлината се разпространява вътре в пещта. Покритието също така забавя сублимацията на графит, когато температурата надхвърли 2200°C, което прави целия компонент издръжлив по-дълго.

Проектиран да заобикаля зоната за проследяване на пластината, Solid SiC Focus Ring осигурява линейно разпределение на плазмата и точни профили на ецване от край до център. Тези първокласни β-SiC компоненти са изградени от Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) с помощта на собствена технология за химическо отлагане на пари (CVD). Чрез изпаряване на суровините в плътна матрица без свързващо вещество, Vetek елиминира порьозните микропроцепи, често срещани в по-старите материали. В сравнение със стандартното кварцово или силициево екраниране, нашите CVD SiC компоненти издържат много по-добре на корозивни халогенни газове, екранирайки подложката в дълбока под 7nm логика и плътно производство на чипове с памет. Очакваме вашите допълнителни запитвания.

Този AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin от VeTek започва с графит с висока чистота, след което добавяме плътно CVD SiC покритие отгоре. Направен е за 300 mm системи за епитаксия и EPI реактори за приложни материали. Защо графит и SiC? Графитът се справя много добре с топлината. SiC слоят поема корозивни газове и не се износва бързо. Дизайнът на тънките стени? Това е за по-чисто повдигане и позициониране на пластини, по-малко частици и по-дълъг живот на части при високи температури. Ние също така произвеждаме подобни графитни части с SiC покритие за системи ASM, Aixtron и LPE. Очакваме вашето запитване.

Vetek Semiconductor прави носители за пластини за VEECO MOCVD системи, създадени специално за работа с LED епитаксия като GaN светодиоди, синьо-зелени светодиоди и дълбок UV LED растеж. Тези носители започват с графит с висока чистота и получават плътно CVD покритие от силициев карбид (SiC). Тази комбинация издържа добре на високите температури, които виждате в MOCVD – добра термична стабилност, устойчивост на корозия и покритието е трайно.