Продукти

Конзолната лопатка от силициев карбид от Veteksemicon е проектирана за усъвършенствана обработка на пластини в производството на полупроводници. Изработен от SiC с висока чистота, той осигурява изключителна термична стабилност, превъзходна механична якост и отлична устойчивост на високи температури и корозивни среди. Тези характеристики гарантират прецизно боравене с пластини, удължен експлоатационен живот и надеждна производителност в процеси като MOCVD, епитаксия и дифузия. Добре дошли за консултация.

Керамичният вакуумен патронник Veteksemicon SiC за пластини е проектиран да осигурява изключителна прецизност и надеждност при обработката на полупроводникови пластини. Произведен от силициев карбид с висока чистота, той осигурява отлична топлопроводимост, химическа устойчивост и превъзходна механична якост, което го прави идеален за взискателни приложения като ецване, отлагане и литография. Неговата изключително плоска повърхност гарантира стабилна опора за пластини, минимизирайки дефектите и подобрявайки добива на процеса. този вакуумен патронник е надеждният избор за високоефективно боравене с пластини.

Пръстенът за фокусиране от твърд SiC на Veteksemi значително подобрява равномерността на ецване и стабилността на процеса чрез прецизно контролиране на електрическото поле и въздушния поток по ръба на пластината. Той се използва широко в процеси на прецизно ецване за силиций, диелектрици и сложни полупроводникови материали и е ключов компонент за осигуряване на добив на масово производство и дългосрочна надеждна работа на оборудването.

В критичните стъпки на почистване на пластини, ецване и мокро ецване, кварцовата вана с висока чистота е нещо повече от контейнер; това е първата линия на защита за успеха на процеса. Замърсяването с метални йони, крекингът от термичен шок, химическата атака и остатъците от частици са скрити причини за колебания в добива. Veteksemi е дълбоко вкоренен в кварца от полупроводников клас. Всяка кварцова вана, която произвеждаме, е проектирана да осигури безкомпромисна надеждност и чистота за вашите авангардни процеси.

Нашата роботизирана ръка на силициев карбид (SIC) е предназначена за високоефективна обработка на вафли при напреднало производство на полупроводници. Изработена от силициев карбид с висока чистота, тази роботизирана ръка предлага изключителна устойчивост на високи температури, плазмена корозия и химическа атака, като гарантира надеждна работа в взискателна среда за чисти помещения. Неговата изключителна механична якост и стабилност на размерите позволяват прецизно обработка на вафли, като същевременно свежда до минимум рисковете за замърсяване, което го прави идеален избор за MOCVD, епитакси, йонна имплантация и други критични приложения за обработка на вафли. Приветстваме вашите запитвания.

Veteksemicon е специализиран в предоставянето на персонализирани продукти за лодки с кварцови вафли за полупроводниковата индустрия. Нашата продуктова линия включва полупроводникови слети кварцови стъклени лодки, кварцови дифузионни лодки и персонализирани кварцови лодки за отгряване, широко използвани при високоточни процеси като дифузия, окисляване и ССЗ. Veteksemicon настоява да предоставя цялостни персонализирани услуги на продукти и технологии. Очакваме вашата допълнителна консултация.