MOCVD SiC покрит токоприемник

Технически параметри

CVD SIC ФИЛМ КРИСТАЛНА СТРУКТУРА

Определение и състав на продукта

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor е висококачествен компонент, носещ пластини, проектиран специално за епитаксиална обработка на полупроводници от трето поколение, като GaN и SiC. Този продукт интегрира превъзходните физически свойства на два високоефективни материала:

Графитен субстрат с висока чистота: Произведен чрез технология за изостатично пресоване, за да се гарантира, че основният материал притежава изключителна структурна цялост, висока плътност и стабилност при термична обработка.

CVD SiC покритие: Плътен, без напрежение защитен слой от силициев карбид (SiC) се отглежда върху графитната повърхност чрез усъвършенствана технология за химическо отлагане на пари (CVD).

Защо VETEK е вашата гаранция за добив

Изключителна прецизност в контрола на термичната равномерност: За разлика от конвенционалните носители, токоприемниците VETEK постигат силно синхронизиран топлопренос по цялата повърхност чрез прецизен контрол в нанометров мащаб на дебелината на покритието и термичната устойчивост. Това усъвършенствано термично управление ефективно минимизира стандартното отклонение на дължината на вълната (STD) на повърхността на вафлата, като значително повишава както качеството на единична вафла, така и цялостната консистенция на партидата.

Дългосрочна защита с нулево замърсяване с частици: В реакционните камери MOCVD, съдържащи силно корозивни газове, обикновените графитни пиедестали са склонни към лющене на частици. CVD SiC покритието на VETEK притежава изключителна химическа инертност, действайки като непроницаем щит, който запечатва графитните микропори. Това гарантира пълна изолация на примесите на субстрата, предотвратявайки всякакво замърсяване на епитаксиалните слоеве GaN или SiC.

Изключителна устойчивост на умора и експлоатационен живот:Благодарение на собствения процес на обработка на интерфейса на VETEK, нашето SiC покритие постига оптимизирано съответствие на топлинното разширение с графитния субстрат. Дори при високочестотни термични цикли между екстремни температури, покритието поддържа превъзходна адхезия, без да се лющи или развиват микропукнатини. Това значително намалява честотата на поддръжка на резервни части и намалява общите ви разходи за притежание.

Нашата работилница