Поддръжка на MOCVD

КатоCVD SIC покритиеПроизводителят, Vetek Semiconductor има способността да ви предоставя Aixtron G5 MoCVD SustEptors, които са направени от графит с висока чистота и CVD SIC покритие (под 5ppm). 

Технологията Micro Leds нарушава съществуващата LED екосистема с методи и подходи, които досега са били наблюдавани само в LCD или полупроводникови индустрии, а Aixtron G5 MOCVD системата перфектно поддържа тези строги изисквания за разширяване. Aixtron G5 е един от най-мощните MOCVD реактори, проектирани предимно за растежа на GAN на базата на силиций.

От съществено значение е всички произведени епитаксиални вафли да имат много плътно разпределение на дължината на вълната и много ниски нива на дефект на повърхността, което изисква иновативниMOCVD технология.

Aixtron G5 е хоризонтална планетарна дискова епитаксия, главно планетарен диск, MOCVD SOSCEPTOR, ПЪРВО ПЪРВО, таван, поддържащ пръстен, капак, колекционер на ексхиCVD TAC покритие+графит с висока чистота,твърд филци други материали.

Характеристиките на Sousceptor на MOCVD са както следва

✔ Защита на основния материал: CVD SIC покритието действа като защитен слой в епитаксиалния процес, който може ефективно да предотврати ерозията и увреждането на външната среда върху основния материал, да осигури надеждни защитни мерки и да разшири живота на обслужването на оборудването.

✔ Отлична топлопроводимост: CVD SIC покритието има отлична топлинна проводимост и може бързо да прехвърли топлина от основния материал към повърхността на покритието, подобрявайки ефективността на термичното управление по време на епитаксия и гарантира, че оборудването работи в съответния температурен диапазон.

✔ Подобрете качеството на филма: CVD SIC покритието може да осигури плоска, еднаква повърхност, осигуряваща добра основа за растеж на филма. Той може да намали дефектите, причинени от несъответствие на решетката, да подобри кристалността и качеството на филма и по този начин да подобри производителността и надеждността на епитаксиалния филм.

Основни физически свойства на CVD SIC покритие: