Продукти

Пръстенът за фокусиране от твърд SiC на Veteksemi значително подобрява равномерността на ецване и стабилността на процеса чрез прецизно контролиране на електрическото поле и въздушния поток по ръба на пластината. Той се използва широко в процеси на прецизно ецване за силиций, диелектрици и сложни полупроводникови материали и е ключов компонент за осигуряване на добив на масово производство и дългосрочна надеждна работа на оборудването.

В критичните стъпки на почистване на пластини, ецване и мокро ецване, кварцовата вана с висока чистота е нещо повече от контейнер; това е първата линия на защита за успеха на процеса. Замърсяването с метални йони, крекингът от термичен шок, химическата атака и остатъците от частици са скрити причини за колебания в добива. Veteksemi е дълбоко вкоренен в кварца от полупроводников клас. Всяка кварцова вана, която произвеждаме, е проектирана да осигури безкомпромисна надеждност и чистота за вашите авангардни процеси.

Нашата роботизирана ръка на силициев карбид (SIC) е предназначена за високоефективна обработка на вафли при напреднало производство на полупроводници. Изработена от силициев карбид с висока чистота, тази роботизирана ръка предлага изключителна устойчивост на високи температури, плазмена корозия и химическа атака, като гарантира надеждна работа в взискателна среда за чисти помещения. Неговата изключителна механична якост и стабилност на размерите позволяват прецизно обработка на вафли, като същевременно свежда до минимум рисковете за замърсяване, което го прави идеален избор за MOCVD, епитакси, йонна имплантация и други критични приложения за обработка на вафли. Приветстваме вашите запитвания.

Veteksemicon е специализиран в предоставянето на персонализирани продукти за лодки с кварцови вафли за полупроводниковата индустрия. Нашата продуктова линия включва полупроводникови слети кварцови стъклени лодки, кварцови дифузионни лодки и персонализирани кварцови лодки за отгряване, широко използвани при високоточни процеси като дифузия, окисляване и ССЗ. Veteksemicon настоява да предоставя цялостни персонализирани услуги на продукти и технологии. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Veteksemicon SIC вафли лодки се използват широко в критични високотемпературни процеси в производството на полупроводници, като служат като надеждни носители за процеси на окисляване, дифузия и отгряване на интегрални вериги на базата на силиций. Те също се отличават в полупроводниковия сектор от трето поколение, идеално подходящ за взискателни процеси като епитаксиален растеж (EPI) и метало-органично химическо отлагане на пари (MOCVD) за SIC и GAN захранващи устройства. Те също така поддържат високотемпературната производство на високоефективни слънчеви клетки във фотоволтаичната индустрия. Очакваме вашата допълнителна консултация.

Графитната глава на CVD SIC покритие от Veteksemicon е високоефективен компонент, специално проектиран за процесите на полупроводниково химическо отлагане на пари (CVD). Произведен от графит с висока чистота и защитен с химическо отлагане на пари (ССЗ) Силиконов карбид (SIC), тази душ глава осигурява изключителна издръжливост, термична стабилност и устойчивост на корозивни процесорни газове. Очакваме вашата допълнителна консултация.