8-инчов епитаксиален горен пръстен с CVD покритие от силициев карбид (SiC).

Основни характеристики на 8-инчов SiC Epi Top Ring

● Висока чистота: минимум 99,9995%. Металът няма да мигрира в епи-слоя. Това поддържа концентрацията на носителя на пластини там, където трябва да бъде.

● Потискане на частиците: CVD структурата е плътна. Без пори. Няма да отделя частици, докато инструментът работи. Фабриките виждат по-добри добиви по този начин.

● Устойчивост на топлина: пръстенът остава стабилен при 1500°C. Ниско CTE (топлинно разширение) означава липса на изкривяване по време на бързи цикли на загряване/охлаждане.

● Химическа стабилност: Твърдият CVD SiC е устойчив на H2 и HCl газове. Също така е устойчив на NH3. Няма покритие за отлепване. Не се разгражда в тежки CVD среди.

● Живот на компонента: Повърхността е изключително твърда. Издържа на многократно химическо почистване с HF/HCl. Това намалява честотата на смяна. Той също така намалява общите разходи за притежание на фабриката.

Технически спецификации

Еднаквостта на дебелината на покритието между партидите се контролира при 10 um

Приложения

CVD SiC epi top пръстенът се използва широко в:

● Реактори със силициева епитаксия (Si Epi).

● Епитаксия от силициев карбид (SiC Epi)

● MOCVD системи

● Оборудване за CVD отлагане

Обикновено се съчетава с:

● Токоприемници

● Вафлени носители

● Предварително загрейте рингове

● Реактори за епитаксия

Защо да изберете VETEK SiC Epi Top Ring?

● Пълна производствена способност: 

От пречистване на суровината до прецизна машинна обработка и CVD покритие, VETEK контролира целия производствен процес, за да осигури постоянно качество от полупроводников клас.

● Висока точност: 

Ние използваме обработка на микронно ниво. Дебелината на CVD е много еднаква. Това кара всеки пръстен да работи по абсолютно същия начин.

ЧЗВ

(1) Какво прави SiC epi top пръстенът?

Пръстенът управлява топлината и газовия поток. Той гарантира, че тънкият филм расте равномерно върху вафлата.

(2) Защо CVD SiC е по-добър от графита?

Графитът е порест. Графитът има пори и отделя газ. Твърдият CVD SiC е плътен и чист. Издържа много по-дълго в корозивни инструменти.

(3). Може ли 8-инчовият SiC горен пръстен да бъде персонализиран?

да Изграждаме по вашите специфични чертежи на инструменти. Можем да коригираме геометрията въз основа на вашия процес.

(4). Какви индустрии използват епитаксиални пръстени от SiC?

Те се използват главно в производството на полупроводници, включително захранващи устройства, радиочестотни устройства и производство на SiC пластини.