Носител на пластини за VEECO MOCVD (LED епитаксия)

Характеристики на продукта:

1. Графитна основа с висока чистота с плътен CVD SiC слой
2. Добра термична еднородност за стабилна LED епитаксия
3. Издържа на NH₃, HCl и други корозивни газове, използвани в процеса
4. Ниско отделяне на частици и дълъг експлоатационен живот
5. Дизайнът на джоба може да бъде персонализиран за различни размери на пластини и реакторни платформи
6. Работи добре за дългосрочна MOCVD работа при висока температура

Приложения:
Тези носители за пластини се използват широко в LED и комбинирана полупроводникова епитаксия, включително:

• GaN LED епитаксия
• Синьо-зелена LED епитаксия
• Дълбок UV LED растеж
• Si-базирана GaN епитаксия
• Производство на полупроводникови съединения

Персонализираните носещи решения пасват на множество LED MOCVD платформи, като например:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Унимакс

Технически предимства:

1. CVD SiC покритиетехнология, която ви дава добра плътност и чистота
2. Вариацията на дебелината на покритието се поддържа в рамките на ±10 μm – помага на топлинната ефективност да остане стабилна
3. CNC обработка до 3 μm точност за добро прилягане на пластини и стабилност на въртене
4. Покритието залепва добре и е устойчиво на напукване след многократни високотемпературни MOCVD цикли
5. Справя се с NH₃, HCl и други сурови епитаксиални среди без проблеми
6. Ниско генериране на частици и чиста повърхност за поддържане на висок добивLED епитаксия
7. Може да покрива големи или персонализирани размери за различни платформи на реактори и оформления на пластини
8. Дългогодишен опит сперсонализирани части с графит и SiC покритиеза LED и комбинирана полупроводникова епитаксия

ЧЗВ:
1. Какво прави носителят на вафли вMOCVDLED епитаксия?

О: Той държи и върти пластини вътре в MOCVD реактора и помага да се поддържа стабилна температура по време на епитаксиален растеж.

2. Защо да използваме покрити с SiC графитни носители за пластини за MOCVD?

О: TheCVD SiC покритиедава по-добра устойчивост на корозия, термична стабилност и издръжливост. Той също така помага за намаляване на замърсяването с частици при високотемпературна епитаксия.

3. Vetek Semiconductor произвежда ли персонализирани носители за пластини?
A: Да. Можем да проектираме персонализирани носители въз основа на вашата реакторна платформа, размер на пластина, оформление на джоба и други нужди на процеса.