Какво е електростатичен патрон (ESC)?

Електростатичният патрон (ESC), известен още като електростатичния патрон (ESC, E-Chuck), е приспособление, което използва принципа на електростатичната адсорбция, за да държи и фиксира адсорбирания материал. Подходящ е за вакуум и плазмена среда. Основната му функция е да адсорбира ултра-Почистете тънки листове (като силициеви вафли) и поддържайте адсорбирания материал при добра плоскост, което също може да инхибира деформацията на адсорбирания материал по време на процеса и може да регулира температурата на адсорбата.

Електростатичен патрон (ESC) е специален тип патронник, който използва електростатична сила за задържане, натискане и вземане на обекти (детайли). Всеки материал носи положителни и отрицателни такси, които са невидими за простото око. Когато материалът е поставен върху ESC и се прилага биполярно напрежение върху вътрешните електроди на ESC, положителните и отрицателните заряди ще се движат в материала, за да съответстват на полярността на вътрешните електроди на ESC. Това привличане между ESC и материала се нарича електростатична сила и е и основният принцип зад нашите патрони.

Предимства на продукта

Той има широк диапазон на работна температура (-50 до 700 ℃)

Тези електростатични засмукателни чаши се отличават с отлична якост, термична проводимост и устойчивост на термичен удар и могат да се адаптират към широк температурен диапазон чрез собствения контрол на обемното съпротивление на NGK.

Висока устойчивост на корозия

Тези електростатични засмукателни чаши имат отлична устойчивост на корозия на халогенните газове.

Обработка на ниски частици

Лечението с ниски частици може да бъде постигнато чрез повърхностно обработка и специално почистване

Висока чистота

Предлагат се и продукти с чистота 99,9% или по -високи.

Функция за отопление

Технологията за вграждане на високо прецизно отопление може да бъде интегрирана с функцията на нагревателя и температурата на вафлите може да бъде контролирана в рамките на ± 1%.

Функция за охлаждане

Тези електростатични засмукателни чаши имат изключително висока охлаждане чрез свързване на керамични плочи с висока топлопроводимост и охлаждащи плочи.

Радиочестотен електрод

Електродите на насипни метали могат едновременно да осигуряват стабилно затягане на вафли и радиочестотна плазма.

Pараметър

1.В областта на полупроводниците и електронното производство: По време на полупроводниковите и електронните производствени процеси се използват електростатични всмукващи чаши за фиксиране и обработка на тънки и крехки силициеви вафли, вафли и др. Нейните предимства се крият в силната сила на адсорбция, без механично напрежение и проста работа, която ефективно подобрява ефективността на производството и качеството на продукта.

2. Промишленост на стъкло и керамика: По време на процесите на рязане, смилане и боравене със стъкло и керамика електростатичните смукателни чаши могат да извършват неразрушителни операции на чупливи материали, намалявайки скоростта на счупване на продукта.

3. Производство на прецизни машини и оптични компоненти: За прецизни машини и оптични компоненти електростатичните всмукващи чаши могат да осигурят стабилна адсорбционна сила, предотвратявайки деформация или драскотини по време на обработката.

4. Автоматизирани производствени линии: В автоматизирани производствени линии електростатичните засмукателни чаши се използват широко при позиционирането, обработката и сглобяването на части и др., Подобряване на степента на автоматизация и ефективност на производствената линия.