Силициев карбид sic вафла лодка

Veteksemicon Sic Wafer Boat е основен носител, създаден специално за високотемпературни полупроводникови процеси. Използвайки изостатично притиснат графит с висока чира, този продукт използва патентована технология за отлагане на химически пари, за да образува плътен, непорьозен силиконов карбид защитен слой на повърхността.

Този слой безпроблемно съчетава отличната топлопроводимост на графита с изключителната корозионна устойчивост на силициев карбид. Строго контролираното покритие постига дебелина 80-120 мкм, като ефективно се устоява на корозия от различни кисели и алкални атмосфери, като значително намалява риска от замърсяване на металите. Той поддържа структурната стабилност и целостта на размерите дори в среди с висока температура, осигурявайки надеждна защита и подкрепа за вафли по време на критични процеси като окисляване, дифузия и епитаксиален растеж, като ефективно удължава живота на вафлите с повече от три пъти повече от конвенционалните графитни лодки.

Ⅰ. Технически параметри

Ⅱ. Veteksemicon sic вафла с основни предимства на лодката

• Отлична устойчивост на корозия

SIC покритието на лодката на вафли Veteksemicon се отлага с помощта на нашия собственик с високотемпературна CVD процес, което води до гъста, еднаква структура, която е напълно без пори и пукнатини. Тази твърда бариера ефективно изолира вафлите от пещната среда. Силните окислителни атмосфери, флуорирани съединения и други корозивни газове са непроницаеми за този защитен слой. Това означава, че вашите вафли са защитени от замърсяване, докато самата лодка остава непокътната чрез многократни екстремни процеси, като значително удължава експлоатационния си живот.

• Ултра-високи материали за чистота

Ние разбираме, че дори и най -малкото замърсяване може да направи цяла партида вафли безполезни. Следователно, Veteksemicon строго контролира суровините, използвайки вносен изостатично натиснат графит с чистота над 99,9995% като субстрат. SIC покритието, отложено върху този субстрат, също постига 99,999% чистота, с критични примеси като натрий, калий, желязо и тежки метали, поддържани до изключително ниски нива (PPB). Тази почти интринска чистота гарантира, че замърсители не се освобождават при високи температури, като основно елиминират риска от деградация на производителността на устройството поради проблеми, свързани с носителите.

• Отлична термична стабилност

Производството на полупроводници изисква изключително последователни термични процеси. Коефициентът на топлинна експанзия на Veteksemicon вафла е щателно проектиран така, че да съответства на тясно този на силициевите вафли. По време на бързо отопление и охлаждане лодката и вафлата се движат в синхрон, като значително намаляват риска от решетъчни дефекти и изкривяване, причинени от топлинен стрес. Той може да издържи непрекъснатите работни температури до 1600 ℃, поддържайки отлична механична якост и стабилност на размерите дори при тези високи температури. Това гарантира повторяемост и надеждност при всеки процес на процеса, осигурявайки солидна основа за контрол на толерантността при производството на чипове.

• Трайна механична якост

Стойността на нашите продукти се крие не само в първоначалната инвестиция, но и в дългосрочните разходи за собственост. В сравнение с традиционните кварцови или графитни компоненти, лодките на вафли Veteksemicon SIC предлагат изключителна устойчивост на износване и въздействие. Тяхната висока повърхностна твърдост издържа на драскотини и отломки по време на работа и почистване. Тази здравина им позволява лесно да издържат над 200 цикъла на процеса с висока температура и необходимите процедури за почистване, като значително намаляват разходите за възлагане на поръчки, разходите за инвентаризация и престоя на оборудването, свързани с честата подмяна на компонентите.

• Проверка на проверка на екологичната верига

Veteksemicon sic вафални лодки „Екологичната верига за проверка обхваща суровините в производството, преминаха международно стандартно сертифициране и разполага с редица патентовани технологии, за да гарантира нейната надеждност и устойчивост в полупроводниковите и новите енергийни полета.

Ⅲ. Основни полета за приложение

За подробни технически спецификации, бели документи или договорености за тестване на пример, моля, свържете се с нашия екип за техническа поддръжка, за да проучите как Veteksemicon може да повиши ефективността на вашия процес.

Склад на Veteksemicon Products