От производствения процес на електростатични смукателни чаши до производителите на масово производство

Принципът на дехк наЕлектростатичен патроне ключова част от неговия работен поток, която включва електростатична сила на елиминиране и механизми за освобождаване на вафли. По -долу е подробен анализ:

Ядрото на Dechuck е да елиминира или неутрализира електростатичната сила, адсорбирана върху вафлата, а специфичните методи включват:

Youdaoplaceholder0 отрежете силата

Спрете да прилагате напрежение с директен ток върху електрода, за да елиминирате постепенно електрическото поле.

Youdaoplaceholder0 Обратно напрежение или инжектиране на газ ‌

Някои системи ще прилагат обратното напрежение или ще въведат инертни газове (като той, N₂), за да ускори неутрализацията на заряда или физическото разделяне.

Нека сравним професионалните техники за производството на ESC и първо да видим дали компанията може да достигне такъв мащаб.

Технология за анализ на CAE, функционални материали на плочите, дизайн на електрода, технология за анализ, технология за охлаждащи канали, технология за проектиране на нагреватели, старши персонал в полупроводниково оборудване.

Японските и южнокорейските компании трябва да бъдат изцяло екипирани с такъв подходящ персонал. Ако не, няма нужда да говорим за технологията на компанията.

Технологията на Чък, електродите, дисковете и дори принципа на потока на HE все още не са изяснени. Нека направим груба електростатична чаша. Такива компании се предават директно. По принцип те се използват за възобновяване на парите на инвеститорите. Това е основното ниво на знание как. Инвеститорите също трябва да се откажат от компания, която играе с игри с карти и няма служители с над 10 години опит в ецването на оборудване, защото това не е компания, която прави практически неща.

Що се отнася до изстрела на прах в индустрията, всички са в една и съща област. Всяка от тях има своя уникална формула. Кой от тях няма сили да бъде оборудван със синтеровани керамични повърхности? Инвеститорите могат също така да предадат тези конфигурации или компании, които не са ги схванали напълно, защото тяхната основна логика е същата: те се стремят да печелят пари, а не да разработват продукти.

Що се отнася до ремонта, много местни компании трябва да имат съответните възможности за L1 до L3 досега. Дори ако възможностите малко липсват, L1 все още може да се справи. За L3 и по -горе или не може да бъде поправен, или може да бъде възловен. Във всеки случай все още има начин да го поправите.

L1 Ремонт на повърхността, подобряване на грапавостта на повърхността/подобряване на плоскостта/регенерация на неравности.

Ремонт на L2: Ремонт на ставите на слоя, възстановяване на метална основа и керамичен диск/повторно пълнене на съвместен слой.

L3 Ремонт на керамичен диск подмяна, производство на керамични дискове/възстановяване на метална основа и керамичен диск.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Компанията заема водеща позиция в проектирането и производството на вътрешни електростатични патрони и оборудване, базирани на електростатични патрони като основна технология. Понастоящем Haituo Innovation постигна търговско производство на електростатични всмукващи чаши и завърши доставката на 4-инчови до 12-инчови полупроводникови Fab Electrostatic Chucks.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Електростатичните засмукателни чаши независимо, разработени от компанията, отговарят на съответните стандарти и обработкаИзисквания на полупроводниковата индустрия. 12-инчовите PVD алуминиеви нитридни електростатични смукателни чаши, разработени в ранния етап, до известна степен нарушават дългосрочния монопол на чуждестранните производители в тази продуктова област. Понастоящем Huazhuo Jingke е приложил свързаната технология на електростатичните всмукващи чаши за производството на продукти и постигна дребномащабно масово производство. Той може да осигури и персонализирани продукти за клиентите.

Основана през 2016 г., е водещ доставчик на усъвършенствани материали за покритие за полупроводниковата индустрия. Нашият основател, бивш експерт от Института за материали на Китайската академия на науките, създаде компанията с акцент върху разработването на авангардни решения за индустрията.

Нашите основни продукти за продукти включват CVD силициев карбид (SIC) покрития, покрития на Tantalum Carbide (TAC), насипни SIC, SIC прахове и SIC материали с висока чистота. Основните продукти са SIC покритие с графит, графит, пръстени за предварително загряване, пръстен с отклонение от диверсиране на TAC, части на половинмун и др., Чистотата е под 5PPM, може да отговаря на изискванията на клиентите.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Продуктите за електростатична смукателна чаша, разработени от ИТ, имат показатели за производителност, които могат да отговарят на нуждите на предприятията за производство на чипове. Те разполагат с изключителни свойства като контролируема температура, равномерна адсорбционна сила, без драскотини или бръчки по време на адсорбция и без ефект на изключване на ръба върху вафли. Те са сертифицирани от водещи вътрешни предприятия за полупроводникови индустрии като Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics и North China Innovation и са постигнали продажби. Той е нарушил монопола на чуждестранните производители в тази продуктова област.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

През 2022 г. компанията направи стратегически ходове в областта на прецизните керамични компоненти, постигайки локализацията на високо технически прецизни части, като отоплителни плочи и електростатични патрони. Основните технически показатели за керамичните отоплителни плочи, разработени от Zhongci Electronics, са достигнали нивото на подобни международни продукти и са проверени от потребителите. Те се прилагат на партиди в ключово домашно полупроводниково оборудване. Керамичните отоплителни плочи са доставени в насипно състояние, а електростатичните патрони са изпратени за тестване на проби.