Как TaC покритието подобрява експлоатационния живот на графитните компоненти? - VeTek Semiconductor

CVD покритие от танталов карбидсе произвежда чрез отлагане на пари на танталов карбид (TaC) върху повърхността на графитен субстрат с висока чистота, като се използва собственият процес на химическо отлагане на пари (CVD) на VeTek Semiconductor.

Покрития на карбид на Tantalum (TAC) значително подобряват експлоатационния живот наГрафитни частиЧрез множество механизми, особено във високотемпературна, силно корозивна среда като полупроводниково производство и растеж на кристалите. 

Ето конкретните причини защоTaC покритияповишава издръжливостта на графитните части:

● Подобрена устойчивост на висока температура

Изключително висока термична стабилност: TaC покритията са в състояние да останат стабилни при изключително високи температури над 2000°C и дори могат да работят ефективно при 2200C. Тази устойчивост на висока температура позволява на покритието да издържи на ерозията на разтопени метали и химически газове по време на производството на полупроводници, като по този начин удължава експлоатационния живот на графитните части.

● Отлична устойчивост на корозия

Химическа ерозионна устойчивост: ТАК покритията имат силна устойчивост на корозивни газове като водород, амоняк и силициева пари, което може ефективно да предотврати разяждането на тези газове от графитен субстрат и да намали риска от увреждане на графитните части в сурови среди. Това означава, че по време на процеса на растеж на кристалите покритието може да попречи на миграцията на примесите и да подобри качеството на кристалите и добива.

●  Подобрени механични свойства

Добра адхезия и устойчивост на термичен удар: TAC покритията имат силна адхезия към графитния субстрат, като гарантират, че покритието няма да се обелва или деламинира по време на високотемпературни операции. В допълнение, отличната му устойчивост на термичен удар може да издържи на бързи температурни промени, без да се напуква или пилинг, като допълнително удължава експлоатационния живот на графитните части.

●  Намалете замърсяването с примеси

Ултра-висока чистота: TAC покритията имат изключително ниско съдържание на примеси, което спомага за намаляване на проблемите с замърсяването, които могат да възникнат при условия на висока температура. Чрез предотвратяване на нежелани примеси да мигрират към епитаксиалния слой, TAC покритията значително подобряват чистотата и качеството на процеса на растеж на кристалите.

● Оптимизиране на термичното управление

Подобряване на топлопроводимостта и съпротивлението: TAC покритията имат сравнително ниска термична проводимост и съпротивление, което дава възможност на приложението му в нагревателите и други компоненти на термичното управление да подобрят енергийната ефективност и да намалят загубата на енергия. Тази функция не само подобрява ефективността на експлоатацията, но също така намалява умората на материала и щетите, причинени от прегряване.