Какво е специфичното приложение на части с покритие от TAC в полето за полупроводници?

Физични свойства на покритието на карбид Tantalum (TAC)

Прилагането на покритие от карбид Tantalum (TAC) в полупроводниковото поле

1. Епитаксиални компоненти на реактора на растеж

TAC покритието се използва широко в компонентите на реакторите на химически пари (CVD) на епитаксиалния и силициев карбид (SIC) на галий нитрид (GAN), включително епитаксиален, включително епитаксиален, включително, включително, включителноНосители на вафли, сателитни ястия, дюзи и сензори. Тези компоненти изискват изключително висока издръжливост и стабилност във висока температура и корозивна среда. TAC покритието може ефективно да удължи живота си на обслужване и да подобри добива.

2. Компонент за растеж на единичен кристал

В процеса на растеж на единичен кристал на материали като SIC, GAN и алуминиев нитрид (AIN),TAC покритиесе прилага към ключови компоненти като тигели, държачи за кристали на семена, пътешественици и филтри. Графитните материали с TAC покритие могат да намалят миграцията на примесите, да подобрят качеството на кристалите и да намалят плътността на дефектите.

3. Индустриални компоненти с висока температура

TAC покритието може да се използва в промишлени приложения с висока температура, като резистивни нагревателни елементи, инжекционни дюзи, екраниращи пръстени и споещи тела. Тези компоненти трябва да поддържат добра производителност в високотемпературна среда, а топлинната устойчивост на TAC и устойчивост на корозия го правят идеален избор.

4. Нагреватели в MOCVD системи

Графитни нагреватели, покрити с ТАК, са успешно въведени в системите за отлагане на метални органични химични пари (MOCVD). В сравнение с традиционните нагреватели, покрити с PBN, нагревателите на TAC могат да осигурят по-добра ефективност и равномерност, да намалят консумацията на енергия и да намалят повърхностната емисионна, като по този начин подобряват целостта.

5. Носители на вафли

Носителите, покрити с таК Проучванията показват, че степента на корозия наTAC покритиявъв високотемпературна амоняк и водородна среда е много по-ниска от тази наSic покрития, което го прави по-добра стабилност и издръжливост при дългосрочна употреба.