CVD SiC покрит графитен фиксатор за носител на пластини

1. Предимства на продукта

• Материал с висока чистота:Графитният материал от полупроводников клас и структурата на плътното SiC покритие минимизират рисковете от замърсяване и подобряват надеждността на CVD SiC покрития графитен ток.
• Отлична термична равномерност:Оптимизираната графитна структура и SiC покритието осигуряват стабилен топлопренос и равномерен контрол на температурата на пластините.
• Превъзходна химическа устойчивост:Плътното SiC покритие предлага силна устойчивост срещу технологични газове и корозивни среди.
• Дълъг експлоатационен живот:Високата твърдост и устойчивост на износване подобряват издръжливостта при условия на високотемпературна епитаксия.
• Ниско генериране на частици:Плътната повърхност на CVD SiC намалява отделянето на частици и подобрява надеждността на процеса на пластини.
• Възможност за персонализиран дизайн:Предлага се в различни размери, структури и конфигурации според изискванията на оборудването.

2. Технически спецификации

3. Приложения

• Процес на епитаксия на SiC:Графитният приемник се използва като носител на пластини в SiC епитаксиално оборудване, поддържайки SiC субстрати по време на високотемпературен епитаксиален растеж.
• Процес на силиконова епитаксия:Прилага се в силициеви епитаксиални реактори за поддържане на пластини и поддържане на стабилни термични условия.
• MOCVD епитаксия:Графитните токоприемници VETEK са подходящи за MOCVD, LED епитаксия, GaN епитаксия, силициева епитаксия и други процеси на производство на полупроводници, изискващи отлична топлинна еднородност и химическа стабилност.
• Оборудване за производство на полупроводници:Съвместим с различни платформи за епитаксия, включително LPE хоризонтални пещи, Aixtron, NuFlare и свързано полупроводниково оборудване.

4. Защо да изберете VETEK?

VETEK предоставя персонализирани CVD SiC покрити графитни фиксаторни решения, интегриращи пречистване на графит, прецизна обработка, CVD покритие и възможности за инспекция. Нашите полупроводникови продукти с графитен приемник се отличават с висока чистота, равномерна дебелина на покритието, отлични топлинни характеристики и дълъг експлоатационен живот за взискателни приложения на носители на пластини.