Графит с графичен тигел на SIC

Vetek Semiconducotr е професионален производител и доставчик и доставчик на Graphite Clucible Deflector. Графитът на Crucible Deflector с покритие от SIC е решаващ компонент в монокристалната пещ оборудване, натоварена с гладко ръководещо разтопения материал от тигела към зоната на растеж на кристалите, като гарантира качеството и формата на монокристален растеж.

Функциите на нашия дефлектор за тигел от графит със SiC покритие са:

Контрол на потока: Той насочва потока на разтопения силиций по време на процеса на Czochralski, като гарантира равномерно разпределение и контролирано движение на разтопения силиций за насърчаване на растежа на кристалите.

Регулиране на температурата: Той помага да се регулира разпределението на температурата в разтопения силиций, като се гарантира оптимални условия за растеж на кристалите и минимизиране на градиентите на температурата, които биха могли да повлияят на качеството на монокристалния силиций.

Предотвратяване на замърсяване: Чрез контролиране на потока от разтопен силиций, той помага за предотвратяване на замърсяване от тигела или други източници, поддържайки високата чистота, необходима за полупроводникови приложения.

Стабилност: Дефлекторът допринася за стабилността на процеса на растеж на кристалите чрез намаляване на турбулентността и насърчаване на постоянен поток от разтопен силиций, което е от решаващо значение за постигане на равномерни кристални свойства.

Улесняване на кристалния растеж: Чрез ръководството на разтопения силиций по контролиран начин дефлекторът улеснява растежа на един кристал от разтопения силиций, който е от съществено значение за производството на висококачествен монокристален силиконови вафли, използвани при производството на полупроводници.

Продуктов параметър на дефлектора за тигел от графит със SiC покритие

Забележка: Преди покритието ще направим първо пречистване, след покритието ще направим второ пречистване.

Цех за производство на полупроводници VeTek: