Непрозрачен кварцов щит и затвор с висока чистота за MOCVD

1. Технически спецификации

Ние предлагаме високо прецизна обработка въз основа на вашите технически чертежи, за да осигурим идеално прилягане към вашите специфични модели оборудване.

2. Основни полета на приложение

● MOCVD защита на процеса: Служи като основни вътрешни щитове/облицовки за защита на реакционната среда.

● Полупроводникова епитаксия: Използва се като високопрецизни затвори за стабилизиране на потока и температурата по време на растеж на тънък слой.

● Производство на широколентови полупроводници: Съвместим със среди с високо изискване за GaN и други модерни материали.

3. Защо да изберете VETEK Quartz Solutions?

● Превъзходно управление на топлинното излъчване: Нашият млечнобял кварц съдържа висока плътност на микромехурчета, които ефективно разпръскват и блокират топлинно излъчване с висока температура (>1000°C). Той абсорбира видимата и близката инфрачервена светлина от нагревателните елементи и я преобразува в далечна инфрачервена радиация, осигурявайки изключително равномерно нагряване.
● Контрол на замърсяването и лесна поддръжка: Като жертвена или сменяема вътрешна облицовка, кварцовият щит поддържа реакционната камера чиста, като предотвратява отлагането на странични продукти върху скъпите стени на камерата и нагреватели. Тези части могат да бъдат регенерирани чрез мокро почистване (като SPM+DHF разтвори) или лесно заменени, за да се осигурят високи добиви на пластини.
● Изключителна химическа устойчивост: Кварцът VETEK е проектиран да издържа на чести топлинни цикли и да е устойчив на корозия от органични метали (като TMGa) и хидриди (като AsH₃).
● Прецизен контрол на процеса: Нашите кварцови капаци поддържат висока стабилност на размерите при инфрачервено или нажежаемо нагряване. Тяхната ниска топлинна инерция позволява бърза механична реакция, позволяваща прецизен контрол на растежа на "атомно ниво" и предотвратяване на кръстосано замърсяване по време на многопластово или многопроцесно превключване.
● Рентабилна алтернатива: За проекти със строги бюджетни изисквания, нашите кварцови продукти осигуряват надеждна входна точка в сравнение с покрития графит, предлагайки основна защита и функционалност за MOCVD системи.